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* 来自电子枪 入射电子 样品 样品表面 穿透样品 二次电子 背散射电子 样品 表层 信息 扫描电子 显微镜图像 透射电子 散射电子 样品 内部 信息 透射电子 显微镜图像 扫描透射电子显微镜 电子显微镜 X射线能谱分析 分析电子显微镜 第二章 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope TEM) 2-1. 透射电子显微镜及其特点 2-2. 透射电子显微镜的结构 2-3. 透射电子显微镜的成像原理 2-4. 透射电子显微镜的操作 2-1.透射电子显微镜及其技术特点 一 透射电子显微镜: 1.概念:透射电镜指利用电磁透镜对穿透样品的电子信号 进行放大,并把显示超微结构的电子图像直接成像在荧光屏上的电子显微镜. 特征: 庞大体积 高精密度 高分辨率 高放大率 DXB2--12 2.透射电子显微镜的类型 加速电压 常压电镜:加速电压在200KV以下的透射电镜。 生物型电镜:120KV 超高压电镜:加速电压在500~3000KV的电镜。 电子枪结构 热阴极(钨灯丝):高分辨率0.2纳米 高真空系统:10-5~-6乇 冷阴极(场发射):超高分辨率:0.1纳米 超高真空系统:10-8~-9乇 2-1.透射电子显微镜及其技术特点 1)分辨率高:点分辨率0.2~0.3nm,晶格分辨率0.1nm. 2)放大倍数高、变化范围广:几百倍至100万可调。 3)样品制备复杂:厚度为50~70nm超薄切片或滴膜样品。 4)图像特点:视场范围小,二维灰度图像。 5)应用范围: 生物样品局部切面的超微结构,生物大分子结构。 非生物样品可以制成复型膜观察。 二、透射电子显微镜的主要技术特征: 1.常压透射电子显微镜: 组织显微结构 (真色彩) 细胞超微结构 (灰度图像) 2.超高压电子显微镜: (Ultra-high Voltage Electron Microscope 1)概念:加速电压在500KV以上的透射电子显微镜。 2)技术特点: 1)加速电压高:500~3000KV; 2)分辨率高:点分辨达0.1nm; 3)样品适应面广:厚度大于100nm 含水样品以及环境真空下可直接 观察活细菌和细胞。 4)图像特点:细胞表面、内部 及其骨架结构。 5)应用范围广:生物及非生物样品; 6)特征:结构复杂,体积庞大, 造价昂贵。 2-2.透射电子显微镜的结构 电器系统 透 射 电 子 显 微 镜 电子光 学系统 真空系统 控制电路 稳定电路(稳压、稳流电路) 高压发生电路 真空抽气系统 真空阀门:气阀、电磁阀 消像散器 电子枪(阴极、阳极和栅极) 聚光镜及其光栏 照明系统 成像放大系统 观察记录系统:荧光屏、胶片 物镜及其光栏(初级放大) 中间镜(调节倍率) 投影镜(末级放大) 样品台:承载移动样品 一、照明系统(电子枪、聚光镜) 1.电子枪:阴极、栅极、阳极组成的三级电子枪。 分为热发射电子枪和冷场致发射电子枪两种。 2.聚光镜:会聚、调节电子束,确保电子束以最佳能量 和最佳孔径角投射到样品上。 现代透射电镜具有双聚光镜系统。第一聚光镜为强磁透镜, 可将束斑直径缩小至1微米;第二聚光镜是弱透镜,可将束斑 放大并聚焦在样品上,得到2~3微米的束斑。实际应用中 第一聚光镜改变束斑,第二聚光镜改变样品照明亮度。 包括:聚光镜、消像散器和聚光镜光阑。 二、成像系统: 1.样品台:装载样品,与光轴垂直的平面上作X、Y方位的 位移满足选择观察视野。分为顶落式和侧插式两类。 2.物镜组件: 物镜:倍率约50倍,极靴透镜。精度极高。 物镜自清洁光阑:减小球差,改善反差。 消像散器:弥补物镜缺陷的一组线圈(正交八个)。 冷阱:用于冷却样品台环境,减小污染,提高分辨率。 3.中间镜:两级弱磁透镜,用于调节放大倍率。 4.投影镜:末级放大并投影在荧光屏上。 是强磁透镜。 自清洁光阑 三、观察记录系统:具有电光转换功能 1.荧光板:中短余辉的绿色高分辨率荧光粉。 作用:带有样品信息的电子信号打在荧光粉上,激发 荧光粉发光,进而把电子信号转换为人眼能识别 的光信号,便于观察和分析。 2.图像记录:相片或电子图像 CCD数字传输系统,得到数字图像 用电子感光胶片拍照记录图像,同时记录重
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