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无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准 Contents 无尘室原理 无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。 无尘室原理 依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。 Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。 无尘室衡量标准 洁净度——参照 STD-209E 无尘室衡量标准 Air Change HEPA 遮蔽率 无尘等级 Air Change (次/hr） HEPA 遮蔽率 Class 100 240~480 50%~100% Class 1000 17~240 10%~35% Class 10000 10 8%~10% Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积 HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积 无尘室衡量标准 风速、温湿度 气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min) 。 一般之温度控制范围：T=(21±2)℃ 一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH 无尘室衡量标准 压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。 无尘室验收标准 用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。 无尘室验收标准 取样次数要求 单一方向气流的测试数量 方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根 例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次 例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次 无尘室验收标准 洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5个以上的取样数 各测试点的取样数不一样也可以 无尘室验收标准 洁净度判断标准 两个条件需同时满足： 在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 无尘室验收标准 实例说明 在Ring Room空态下，共取3个点，每个点测量0.5um的粒子，测量记录如下： 第一点 8、0 第二点 20、8 第三点 11、23、14 判断依据一、 在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 第一点的平均值 （8+0)/2=4 第二点的平均值 （20+8)/2=14 第三点的平均值 （11+23+14)/3=16 小结：满足 无尘室验收标准 判断依据二、 这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*