《薄膜课件绪论.pptVIP

中南大学物理学院 薄膜物理与制备技术 (Thin films physics and prepare technologies) 第一章 薄膜的基本概念及应用 薄膜的研究背景 人类对自然的认识及加工技术的发展 米----毫米----微米----纳米 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 What is a thin film ? 二维材料： thin = less than about one micron ( 10,000 Angstroms,1000 nm) film = layer of material on a substrate 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 在微电子工业中的应用 集成电路制造的关键环节，要反复用到 薄膜技术 薄膜技术是微电子技术的基础，促进了器件的小型化 晶体管在制造，器件的互连，金属导电薄膜，钝化膜以及封装等均须用到薄膜技术 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及