100學年度第1學期期末報告機電4B專題生顏翊婷彭勇彰指導教授.docVIP

100學年度第1學期 期末報告 機 電 4 B 專題生：顏翊婷　彭勇彰 指導教授：楊龍杰 第一章 第一節、汪克爾引擎轉子製作 實驗目的：做一個絕熱的效果 清洗 晶圓片- 使用純水(DI water)沖洗 再用丙酮沖洗 最後用異丙醇沖洗 電極元件- 使用震洗機： 先用純水(DI water) 震洗半小時 再用異丙醇震洗半小時 乾燥 晶圓片- 使用旋乾機弄乾(離心力原理) 再用氣槍將剩餘液體吹乾 之後用hot plate烤乾 電極元件- 用氣槍將剩餘液體吹乾 吹乾後用hot plate烤乾 厚度測量 電極元件使用厚度計測量其厚度。 塗上光阻 光阻塗佈機之使用- 將晶圓放置於機器之轉子上 於晶圓中心擠上約硬幣大小之紅色光阻 蓋上蓋子後啟動，使用離心力原理，使光阻均勻分佈。 備註： 第一轉速-光阻均勻塗佈 第二轉速-旋塗出所需之厚度 黏合 將電極元件放在已塗光阻之晶圓片上 用丙酮沖洗，再用異丙醇沖洗 目的：將電極元件以外的光阻洗掉。 使用旋乾機(離心力)弄乾 查看表面狀態 黏著劑 泡入黏著劑，等待半小時 拿出後等待15分鐘讓他乾 泡進異丙醇等待30秒 拿出後用氣槍吹乾 黏著劑調製 IPA:DI:A174=100:100:1 調畢後須靜至三小時 製作對照組 使用再玻片製作，同晶圓片步驟 清洗 沖洗順序：純水→丙酮→異丙醇 乾燥 再用氣槍將剩餘液體吹乾 之後用hot plate烤乾 塗上光阻 絕熱層製作-抽真空 將晶圓片及玻璃片放入聚對二甲基矽氧烷機器中 再放入Parylene(粉末狀)3克於儀器內 目的：製作出1μm之厚度 抽真空直到數字(壓力值)從400降到15， 約10~15分鐘 絕熱層製作-加熱及鍍上 按下開關開始加熱，溫度約650度 加熱後粉末會氣化而落下到晶圓片及玻璃片上，開啟旋轉使粉末均勻分佈。 當粉末沒有的時候機器會自動停止。 再次塗上光阻 將晶圓片在塗上一層光阻 此次光阻量須掩蓋過電極元件 印上光罩 先判斷光罩之正反面 將光罩放置於單面曝光機上 放上晶圓片 將光罩對齊晶圓片上電極 利用單面曝光機儀器做輔助 按下開關 正光阻照到光之後消失，留下光罩下之光阻印 蝕刻 將印上光罩後的晶圓片放入顯影液 顯影液：AZ400K:DI water =1:4 快速晃動清洗後立即拿出 此時DI water須一直流動，以利於立即沖洗 若沒沖洗將會繼續蝕刻下去 完成 第二章 第二節、仿生尾翼實驗設計 實驗目的：結合MEMS技術設計出一微型鉸鏈裝置於微型拍翼機之尾翼上，目的為控制此微型拍翼機飛行之方向。 實驗設計 以毛細現象為實驗原則，其元件將於滴入液體時產生收縮現象，以達到角度之變換作用。 元件一端為固定端，另一端為自由端。 以雷射切割製作金屬元件 數量：50根 實驗預期結果 滴入液體後收縮後之角度： 固定端與自由端夾角為180度(水平) 收縮角度：不大於30度 使用材料及其尺寸 矽─520 μ 不鏽鋼─40 μ 銅─50 μ 考參文獻 創新毛細驅動微型控制鉸鏈_黃建博