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chap3 纳米世界的“眼”和“手” ◆探索纳米世界的“眼”和“手” ◆扫描隧道显微镜(STM) ◆全天候的原子力显微镜(AFM) ◆扫描电子显微镜(SEM) ◆透射电子显微镜(TEM) ◆单原子操纵 ◆单分子操纵 重点与难点 1.扫描隧道显微镜的工作原理 2.原子力显微镜的工作原理 3.扫描电子显微镜的工作原理 4.透射电子显微镜的工作原理 3.1 探索纳米世界的“眼”和“手” 第二代 电子显微镜 20世纪三十年代早期卢斯卡（E. Ruska）发明了电子显微镜，使人类能“看”到病毒等亚微米的物体，它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。 第三代 扫描探针显微镜 简称为纳米显微镜。1981年比尼格和罗勒尔发明了扫描隧道显微镜（STM），使人类实现了观察单个原子的愿望。1985年比尼格在美国斯坦福大学作访问研究。期间，他们发明了具有原子分辨率、可适用于非导电样品的原子力显微镜（AFM）。STM与AFM一起构建了扫描探针显微镜（SPM）系列。 使用SPM不仅能观察单个原子或分子，还能操纵单个原子或分子，人们称SPM是纳米世界的“眼”和“手”。SPM的发明和广泛应用直接促进纳米科技的诞生。比尼格、罗勒尔和卢斯卡分享了1986年的诺贝尔物理奖。 3.2 扫描隧道显微镜(STM) 扫描隧道显微镜与其它显微镜的主要不同处在于它不是使用外源的光线或电子束，而是直接使用待测样品中的束缚电子来进行观察。物体表面的电子分布不同于经典物理中，像几何界面这样界限分明，而是呈离散状的分布，尤如电子云般地分布。因此两个导体即便不接触，只要靠近到1nm以下，两导体表面的电子云会重叠，电子便会以一定的几率从一端飞向另一端，如像穿过中间的隧道一般形成电流，故称隧道电流。越靠近，隧道电流就越大，呈指数式地变化。STM的工作原理基于电子隧道现象。 STM由三部分组成，即：探针及扫描器，电子学控制和计算机数据处理和显示 。 中国第一批扫描隧道显微镜诞生记 在扫描隧道显微镜发明者获得1986年诺贝尔奖的同时，STM的神奇魅力也深深打动了一批中国学者的心。当时在美国加州理工学院做博士后的中科院化学所白春礼博士正从事着STM的研制工作，回国前整理好相应的软件和关键的部件，怀着急切的心情返回北京。 当时，北京的中科院电子显微镜实验室姚骏恩研究员也忙着从电子显微镜向第三代的扫描显微镜的过渡工作。在北京还有一位为STM心动的学者，北大物理系的杨威生教授，他的目标是希望建立起高真空下的STM，以观察半导体，金属表面的原子结构，但第一步得先把常压下的STM试制出来吧。 与此同时，在上海中科院上海原子核所的李民乾研究员思考着怎么从依赖庞大设备的应用核物理研究转向同样有价值的“小科学”？ STM是一个理想方向！于是他决心放弃熟悉的、自己亲自发展起来的多项核分析技术，转向扫描隧道显微学及其应用领域。他与胡均、顾敏明和徐耀良等一起详细研究了STM的各种设计，觉得STM的特点是多参数的数据收集和处理，这正是核物理实验中最熟悉的方式，国产化的STM完全有可能在短期内研制成功。 在80年代末的报纸上先后报道了上述四个单位研制成功STM的消息。以白春礼领衔，中国第一批的扫描隧道显微镜诞生了。在当时尚无成熟商品化STM的情况下，自己研制无疑在启动我国的纳米科技研究方面起了重要作用。 日后的事实证明，这几家自己研制STM的实验室在各自的科研中都无例外地做出了较出色的成果。 Structure of Sodium Chloride Images of NaCl obtained using Scanning Tunneling Microscope 3.3全天候的原子力显微镜（AFM） 原子力显微镜 （ NANOSCOPE IIIa ） AFM技术应用举例 AFM 可以在大气、真空、低温和高温、不同气氛以及溶液等各种环境下工作，且不受样品导电性质的限制，因此已获得比STM更为广泛的应用，主要包括： 1.导体、半导体、绝缘体表面的高分辨成像 2.生物样品、有机膜等表面的高分辨成像 3.纳米加工与操作 4.分子间力和表面力研究 5.在线检测和质量监控 陶瓷膜表面形貌的三维图象 小结 扫描探针显微镜的基本原理：控制探针在被测样品的表面进行扫描，同时记录下扫描过程中探针尖端和样品表面的的相互作用，就能得到被检测样品表面的相关信息。利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于控制扫描的精度和探针作用尖端的大小（即探针的尖锐度）。 3.4 扫描电子显微镜（scanning electron microscopy ） 扫描电镜的工作原理：用扫描线圈使高