第七章电子探针显微分析分析.ppt

第七章 电子探针显微分析 Electron probe microanalysis 电子探针显微分析(Electron Probe Microanalysis EPMA)的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和 X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。  工作原理： 用细聚焦电子束入射样品表面，电子束将在一个有限的 深度和侧向扩展的微区体积内，激发出样品元素的特征X射线 ，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征 X射线的强度可知元素的含量。 第一节 电子探针的结构 结构 镜筒 信号检测系统： x射线谱仪 信息记录部分 x射线谱仪 Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS) Used for TEM and SEM Most commonly used Energy resolution is not very high, but fast Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS) Used only for SEM and EPMA Energy resolution is high, but slow 第二节 波谱仪 工作原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。 平面分光晶体使谱仪的检测效率非常低，表现在： 固定波长下，特定方向入射才可衍射； 平面分光晶体表面处处衍射条件不同 不同波长的X 射线要用不同面间距的晶体进行分光 波谱仪(WDS)的特点 波谱仪的突出优点是波长分辨率很高(能量分辨率高)。适于作精确定量分析； Be(Z=4)—U(Z=92), 最低检出浓度 ：0.001% 分析速度慢； 经过晶体衍射后，X射线强度损失很大。所以，探测效率低，且难以在低束流和低激发强度下使用。 第三节 能谱分析法 工作原理：利用检测器直接接收从样品上发射的特征x-ray信号，检测器的输出脉冲高度取决于入射x光子能量，根据输出脉冲高度的不同确定和区分入射x-ray的能量。 能谱仪就是利用不同元素的特征X射线光子能量不同 这一特点来进行元素分析。 特征X射线信号检测 N —一个x射线光子造成的空穴电子对的数目 ? — 产生一个空穴对的最低平均能量 ?E — 特征能量 能谱仪(EDS)的优点 能谱仪探测x射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高约一个数量级。 在同一时间对分析点内所有元素x射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动） 不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。  能谱仪的缺点 分辨率低：si(li)检测器分辨率约为130 ev；波谱仪分辨率为5-10 ev 由于峰背比低，使得最低检出浓度 ：0. 01%低于波谱仪（ 0. 001% ） 能谱仪中因si(li)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分析原子序数大于11的元素；若用超薄窗口或不用窗口则可分析4到92间的所有元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。 能谱仪的si(li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。 能谱和波谱主要性能的比较 比较内容 波谱 能谱 元素分析范围 4Be－92U 4Be－92U 分析速度 慢 快 能量分辨率 高(≈5eV) 低(130 eV) 检测极限 10-3 (%) 10-2 (%) 定量分析准确度 高 低 X射线收集效率 低 高 峰背比(WDS/EDS） 10 1 设备维护 容易，不需液氮 难，需液氮 分析区域大小 ～1?m SEM：～1?m；TEM: a few nm 样品制备 要求平整度好，表面光滑 可分析不平样品 第四节 分析方法 点分析：将电子束固定在要分析的微区上，用波谱仪分析时，改变分光晶体和探测器的位置，即可得到分析点的x射线谱线；用能谱仪分析时，几分钟内即可直接从荧光屏（或计算机）上得到微区内全部元素的谱线。 该方法用于显微结构的成份分析，例如，对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物及非化学计量材料的组成等研究。 定性分析 线分析：将谱仪（波、能）固定在所要测量的某一元素特征x射线信号（波长或能量）的位置，把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描，便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。 面分析：电子束在样品表面作光栅扫描，将谱仪（波、能）固定在所要测量的某一元素特征x射线信号（波长或能量）的位置，此时，在荧光屏上得到该元素的面分布图像。改变位置可得