4电化学加工(宋)导论.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 4.4 电化学机械加工技术（4） 小孔内圆面加工 小孔加工工具 4.4 电化学机械加工技术（5） 管内壁加工效果 平面加工效果 4.5 电铸技术 4.5.1 电铸原理 阳极：金属失去电子溶解 阴极：获得电子还原为金属沉积在阴极 4.5.2 电铸加工设备组成 4.5.3 电铸加工的特点（优点） 能准确、精密地复制复杂型面和微细纹路 尺寸精度高（0.05~0.1μm）、表面粗糙度小 便于改变表面物理化学性能 不受尺寸、形状的限制 可获得高纯度金属制品 便于制作中空、低刚度等特殊零件 4.5.3 电铸加工的特点（缺点） 沉积速度慢（铸铜时，0.04~0.5mm/h) 复制原型的划痕等表面缺陷 对操作技能的要求较高 铸层厚度不均匀（棱角处等） 制作成本较高 4.5.4 电铸加工的工艺流程（1） 4.5.4 电铸加工的工艺流程（2） 原模类型 快速成型 石膏、石蜡 环氧树脂 硅胶模 导电化处理 导电胶 化学镀 真空镀膜、离子镀 4.5.4 电铸加工的工艺流程（3） 背衬处理 浇铸铝合金 浇铸低熔点合金 环氧树脂 硅胶模 脱模处理 机械敲击法 热胀冷缩法 溶解、熔解法 4.5.5 电铸加工的应用（1） 制作各种网罩 制作各种低刚度件 4.5.5 电铸加工的应用（2） 各种微型图案 4.5.5 电铸加工的应用（3） 光盘模具 4.6 电化学加工新技术 ELID技术 磁场电化学抛光技术 超纯水电化学加工技术 4.6.1 ELID技术 4.6.1.1 在线电解修整技术 （Electrolytic In-process Dressing，ELID ） 4.6.1.2 ELID 加工机理 4.6.1.3 ELID 加工设备（1） 4.6.1.3 ELID 加工设备（2） 4.6.1.3 ELID 加工设备（3） 4.6.1.4 ELID技术应用 4.6.2 磁场电化学抛光技术 (Magnetic Electrochemical finishing ) 4.6.2.1 加工原理 4.6.2.2 离子在电场中的运动 4.6.2.3 磁场电化学抛光效果 4.6.3 超纯水电化学加工技术 (Electrochemical Machining in Ultra pure water) 存在问题 电解液污染问题 硅片加工中清洗 超纯水 导电率低（OH- 密度：1atm，25℃下，10-7mol/L） 解决方法 提高超纯水中的OH- 密度 4.6.3.1 超纯水电化学加工原理（1） 4.6.3.1 超纯水电化学加工原理（1） 4.6.3.2 超纯水电化学加工实验装置（1） 4.6.3.2 超纯水电化学加工实验装置（2） 4.6.3.3 超纯水电化学加工效果 4.6.3.4 材料去除过程模拟技术 4.6.3.5 去除过程模拟结果 * * 杂散损失 杂散腐蚀能力比较 a)氯化钠电解液 b)硝酸钠电解液 图a由于阴极侧面不绝缘，侧壁被杂散腐蚀成抛物线形，内芯也被腐蚀，剩下一个小锥体。 图b虽然阴极表面没有绝缘，但当加工间隙达到一定程度后，工件侧壁钝化，不再扩大，所以孔壁锥度很小而内芯也被保留下来。 NaClNO3电解液 特性与NaNO3电解液相似 价格贵 强氧化剂 属于消耗性电解液： Cl-离子↑，杂散损失↑ i μ 三种电解液的μ-i 曲线 NaCl溶液：属于线性电解液 NaNO3溶液：属于非线性溶液 NaClO3溶液：属于非线性溶液 100% ia ib 切断间隙：由于阳极钝化膜的作用，当加工间隙大于某临界间隙时 电流效率为零，称该临界间隙为切断间隙 切断电率密度：切断间隙下的电流密度 三种电解液的性能对比 特 点 种 类 NaCl电解液 NaNO3电解液 NaClNO3电解液 加工速度 高 低 较高 加工精度 较低 较高 较高 腐蚀性 大 较小 较小 成 本 低 较高 高 安全性 安全、无毒 助燃（氧化剂） 易燃（强氧化剂） 应用范围 精度要求不高的铁基、镍基合金 有色金属、精度高的铁基、镍基合金 电解扩孔、去毛刺 改善电解液性能的方法 NaNO3电解液+ NaCl →生产率 ↑ 电解液+ 络合剂、光亮剂 →Ra ↓ NaCl电解液+磷酸盐→成型精度↑ 4. 电解液参数对加工过程的影响 浓度↑ 导电率↑ 散蚀能力↑ 电