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昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 高分辨电镜图像 4. 二维结构像 Two dimension structure image 只有很薄的样品，在Scherzer focus附近成像才可以得到 可以确定原子位置，可以模拟计算 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 如何“看到”原子像？ 一般得到高分辨电子显微像与样品中的原子排列没有简单的对应关系！ 原因：1）显微镜系统存在相差等缺陷使成像过程非线性； 2）电子穿过样品存在复杂的散射过程，出射波不能直观 反映样品原子排布。 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 如何“看到”原子像？ 从图像获取原子排列结构信息的途径： 1）采用足够薄的样品，在Scherzer focus附近成像 2）图像模拟技术 从晶体结构模型出发，计算得到样品出射波，再模拟电镜系统成像过程得到模拟高分辨像，与实验获取的高分辨像对比分析。 3）输出波重构 对一系列的实验高分辨像进行定量分析，反逆成像过程，得到输出波函数。 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 高分辨电镜的成像过程 样品对入射电子波的调制，导致样品出射波函数中携带了样品原子排列信息 样品出射波经过物镜系统传递到像平面上，得到高分辨电子显微像 后焦面 样品 像平面 电子源 入射电子波 物镜 样品出射波函数 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 样品对入射电子波的调制 样品厚度引起的图像衬度变化 Si [0-11] 1nm-86nm 间隔5nm 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 样品对入射电子波的调制 从样品边沿往里厚度逐渐增加，引起图像衬度变化 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 材料科学中的高分辨电子显微分析——研究实例1 电子衍射表明薄膜已经晶化 衍射谱分析是C1立方结构CoSi2 朝Si衬底方向生成梯形或三角形界面反应物 梯形底边与界面成固定角 能谱成分分析确定是MoSi2 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 材料科学中的高分辨电子显微分析——研究实例1 快速傅立叶变换表明是C1立方结构CoSi2,[01-1]晶带轴，与Si存在完全相同的位相关系 两相结合面为（111） 由于CoSi2与 Si室温下晶格错配度是1.2%，所以两相存在共格或半共格关系 高分辨电镜分析的作用 两相的晶格条纹像连续穿过证明共格关系 获得傅立叶变换衍射谱分析位向关系（否则需用纳束衍射） Bar = 5nm 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 材料科学中的高分辨电子显微分析——研究实例1 分析另外的三角形界面反应物，同时选取两个相快速傅立叶变换 表明是C1立方结构CoSi2,[01-1]晶带轴，并与Si存在孪晶的位向关系 两相结合面是孪晶面为（111） Bar = 5nm 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 材料科学中的高分辨电子显微分析——研究实例1 电子衍射谱分析表明 CoSi2与Si存在孪晶关系 孪晶面为（111） 本文结论： 550度退火后，溅射得到的非晶CoSi2发生晶化 薄膜与硅基体发生扩散反应，生成形状规则的CoSi2 生成物与硅基体保持完全相同的位向关系，或者孪晶关系 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量， 鼓舞我们前进。 * * * 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 High Resolution Electron Microscopy  Coherent Imaging Techniques 高分辨电子显微镜相干电子显微原理 王剑华 昆明理工大学材料学院 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 高分辨电子显微镜的应用——晶格像 晶界 昆明理工大学材料学院 王剑华 2012.11 高分辨电子显微学 晶格条纹像的形成过程 当只有透射束和一个强衍射束参加成像时，两电子束干涉得到条纹像 Jianna W 2007.05 I0’ I0 昆明理工大学材料学院 王