JY_石英封管培训课件讲解.ppt

备注：演示时，把鼠标放在每个步骤下面的方框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以链接到对应的操作规范部分； 在操作规范部分，把鼠标放在标题下方的文字框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以返回到操作流程部分； * 石英封管操作规范和技巧 主要内容 第一部分：工序介绍 第四部分：操作技巧 第二部分：操作流程 第三部分：操作规范 第五部分：设备相关 第六部分：质量控制 第七部分：安全生产 工序介绍 石英封管工序介绍 石英封管是把已装好硅片、垫片、垫环、杂质源的封管，用氢氧焰把封帽和管体烧接成一体，最后抽成高真空的操作步骤。 设备及工具 CY2003型封管机 高频火花检漏仪 设备及工具 工作台 氢气报警器 设备及工具 封管夹具 氢氧焰灯 设备及工具 石英抽嘴 石英料丝 操作流程 石英封管操作流程 打开设备总电源，开启水、电、气开关阀门。 将装好的封管夹上合适的夹具。 用氢氧焰烧熔封帽口，使其和管体一体化。 接上真空泵放在烘烤炉体内抽真空。 设备开机 夹封管 氢氧焰封帽 抽气烘烤 用氢氧焰把封管口封死 封口 操作流程 石英封管操作流程 封管结束后，关闭电源及设备。 检验无漏气无异常后送高温扩散。 关封管设备 自检送扩散 开机规范 打开封管机电源开关 打开机械泵冷却阀门 开机规范 打开电源开关 打开机械泵开关 打开真空泵开关 开机规范 封管时先开氢气阀门,在空气中点火 再开氧气阀门调节火焰大小 夹封管 封管选择合适的夹具夹好 将夹具和封管放操作台上 氢氧焰封帽 一边封一边缓慢转管 封帽和封管连接处 石英料丝 焊接抽嘴 在封帽口上焊接好抽嘴 烧机械泵号 把称源编好的泵号烧在封帽上 抽气烘烤 将夹具连同管一起穿过炉体确保管在炉体内 抽气烘烤 把焊好的抽嘴和抽真空系统对接 打开抽气阀门 抽气烘烤 30±5分钟 20±5分钟 烘烤时间 400±10℃ 400±10℃ 烘烤温度 ＞82 ≤82 封管内径 常用封管烘烤时间表 封口 真空度已达标（≤5×10-3pa) 在封帽口接口处烧熔抽嘴实现抽嘴分离 封口 用氢氧焰把封口处烧牢固 把管尖压平 下交 用高频火花检漏光呈淡蓝色为合格 操作技巧 料丝多蘸水可防止粘连及形成小细丝 操作技巧 火焰与封帽平面呈30°角不易使水汽进入封管 设备日常 维护保养 房间内的强排 风要检查 机械泵内的油 要定期更换 氢气报警器 要经常检查 工作正常 设备日常维护保养的方法 设备相关 氢气管道 定期检查 设备使用注意事项 设备相关 真空泵 封管前要半小时要开真空泵，先抽取低真空，为封管抽高真空做准备。 氢气 报警器 要定期用氢气实验报警器的灵敏性和可靠性。 质量控制 硅片烤蓝及圈印 封管有沙眼真空泄露 质量控制 常见质量问题的原因及解决方法 1缓慢转管 2烧融石英料丝 1转管速度过快 2石英料丝没充分烧融 封管有沙眼漏气 质量现象 原因分析 解决办法 硅片表面白雾，划伤 封管时水汽未被抽干，杂质源被抽出 注意烘烤时间，放慢抽气速度。 硅片变形、粘管 封管内空间太小，硅片产生应力 调整封帽位置，使管内空间合适。 硅片烤蓝 硅片表面经高温后严重氧化 注意氢氧焰方向和灼烧时间。 石英封管安全生产注意事项 设备安全方面： 工作台保持通风良好，氢气管道确保不泄露 氢气报警器要经常检查其有效性，工作间内不放易燃易爆物品。 人员安全方面： 工作时注意高温灼伤，下班后关好水、电、气，以防事故发生。 安全生产 谢 谢 地址:湖北省襄樊市胜利街186号 邮编:441021 电话:0710-3506288 传真:0710-3506299 Http:// E-mail: trade@