真空讲座第10讲.docVIP

第十讲：真空密封[简介]: 真空系统是由真空泵、阀门、扑集器、导管等各种元件通过不同的连接形式组成的，就是真空室也是由多个部件，多种不同材料的组件组建而成的。这些各式各样的零件要用不同的密封方法连接在一起，这些密封方法既要保证零件的可靠连接又要防止通过接头发生漏气，保证真空系统的密封质量，把真空系统的漏气率控制在一定范围内，所以真空密封是真空系统设计、装配过程中的重要问题。1 概述????真空系统是由真空泵、阀门、扑集器、导管等各种元件通过不同的连接形式组成的，就是真空室也是由多个部件，多种不同材料的组件组建而成的。这些各式各样的零件要用不同的密封方法连接在一起，这些密封方法既要保证零件的可靠连接又要防止通过接头发生漏气，保证真空系统的密封质量，把真空系统的漏气率控制在一定范围内，所以真空密封是真空系统设计、装配过程中的重要问题。????有些真空密封除了要求不漏气之外，还要求能够允许电流传输、运动的传输、材料的递送或者让辐射传输。为了适应各种不同要求，采用了很多种不同结构形式的密封方法，用于真空密封的材料也很多。根据连接件的相互关系，密封方法、用途和材料的不同，可以对真空技术中所使用的密封方法进行分类。总起来说，根据被连接件的相互关系，可以将真空密封分为两大类：静密封连接和动密封连接。它们的细分如图l所示。这些密封连接方法分别适用于不同的工作条件。 ? 2 永久密封连接????永久密封连接用于不需经常拆卸的密封连接处，用这种方法可以保证最好的密封和机械强度。2.1 玻璃与玻璃的封接????玻璃与玻璃之间的封接通常是在煤气或天燃气和氧气的混合火焰中进行烧结熔化而进行的。为了保证封接可靠，必须使封接玻璃之间的热膨胀系数极为相近，否则会因封接时产生的内应力引起玻璃的破裂。经验证明：如果线膨胀系数之差不大于7×10-7／，则熔接处所产生的内应力不致引起炸裂。如果膨胀系数太大，则应采取膨胀系数介于二者之间的中间玻璃进行过渡封接。经过封接的地方最好采用退火工艺来消除内应力，否则封接处也易引起破裂。玻璃热稳定性差，在封接时应注意火焰作用在玻璃上的温度，因为温度急剧变化也会引起玻璃的炸裂。2.2 玻璃与金属封接????最常见到的玻璃与金属的封接是电极引线，以及管道状的玻璃与金属的封接。这种封接分为匹配封接和非匹配封接。匹配封接指的是膨胀系数相近的玻璃和金属之间的封接，封接处内应力小；非匹配封接指的是膨胀系数相差较大的玻璃和金属之间的封接，封接处内应力大，为了消除玻璃与金属膨胀系数相差较大而产生的内应力，一般多采用延展性好的薄壁金属管与玻璃封接，靠金属的塑性变形来消除内应力。????图2是金属管与玻璃管的一种非匹配封接形式。 金属管管壁在封接处逐渐变薄，以利于变形，变薄的区域约等于封接区长度的一倍。这种封接一般分为外封接(玻璃仅熔接在金属管壁外侧)，内封接(玻璃仅熔接在金属管壁内侧)和双边封接(玻璃从内、外二侧包住金属管壁)三种。双边封接时内侧的玻璃封接长度最好是外侧的二倍。这类封接不大经受得住温度的反复升降，例如铜与玻璃封接时，如果温度的摆幅是室温到400，则仅能使用几百次。2．3 金属与金属的焊接2．3．1焊接方法????金属之间的焊接方法较多，用于真空密封中的一些焊接方法如图3所示。????无压熔焊是不使用压力将被焊件相互接触，使接触部位局部加热，由于金属表面或边缘的局部熔比而形成混合金属液。这种金属混合液(焊料合金也如在其中)把被连接件的接触缝隙填满。当焊接热源去掉后，金属液凝固而把零件“熔焊”在一起。无压熔焊的热源是：火焰(气焊)、电弧或电子束。 ??? 加压焊接则是对加热或不加热金属元件用压力连接在一起。其中电阻焊需要加热、冷焊则不需要加热。????气焊是用可燃性气体混合氧气的焊枪对被焊件进行加热焊接的。由于这种焊接需要采用放气率较大的焊剂，因此，它在真空密封连接中只是用在焊接笨重的铜或铁容器上。????电弧焊是以工件与电极间或两个电极间的电弧所获得的热量为基础的一种焊接技术。其中原子氢(原子弧)焊、碳弧焊、合金焊条取代钨电极的氩弧焊等方法多用于真空密封技术中。在原子弧焊工艺中，热量是从氢气围绕的两个钨电极之间的交流电弧(60～l00V；20～60A)中获得。通过电极夹供给的分子氢在电弧中离解成原子氢，而在与较冷的金属接触时重新化合产生高达4000的高温。焊缝即均匀又干净，适用于铁、软钢，铝和铬的焊接。但不适用于镍和铜合金。这是因为氢在镍液(不锈钢)中是可溶的，而当金属液凝固时又会逸出从而会造成裂缝和产生小的孔洞。铜和铜合金会因氢而变脆。????碳弧焊是在碳电极和工件之间或两个碳电极之间使用直流直接引弧(1～10A；100V)。这种焊接可用来焊铁、镍、铝或铜。????合金焊条