激光测量技术第六章 激光其他测量技术（参考）.pptVIP

2006年3月6日星期一 二、音叉扫描测径 设扫描光点的运动方程为: 光点在扫描方向横切细线两侧的时间为t1和t2,坐标为S1和S2，则 如果参考信号的运动方程为: 2006年3月6日星期一 二、音叉扫描测径 在t1和t2时所截取的电压分别是 电压差: 2006年3月6日星期一 三、扫描镜电流计测径 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 影响激光扫描测量精度的主要因素： 工件边缘的衍射现象。 衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数时，必然引人误差，使前述的光点扫描测量精度限制在士0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工件，通过测量位相，而不是测时间来获得被测件的尺寸，测量精度可达士1 um，适合于各种高温、高压下做非接触高精度现场测量。 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光强I1,I2.I3，有如下关系: 若Pockels调制器的振荡频率为。，由图6-18可知，光束①+③是(I1+I3) (1 + sin wt)。而光束②的方程是I2(1-sin wt)。对任意时刻，调制扫描光束的表达式为 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 1当光束③与工件相遇时为a区，扫描光束扫过工件后为a‘区 2当工件边缘开始挡住光束③或①时，这时为b区和b区 3当工件边缘开始挡住光束②到全部挡住光束②时 2和3 的信号正好相差pi 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 2006年3月6日星期一 第三节激光测距技术 常用的测距技术: 雷达/无线电测距 时间 回波 超声测距 回波 相位 激光测距 无导轨测距: 短程: 合成波长 半导体激光调频测距 远距离(几千米)测量的技术: 激光相位测距 脉冲激光测距 2006年3月6日星期一 一、激光相位测距 (一)激光相位测距原理· 相位测距是通过对光的强度进行调制来实现的。 波的传播方程 若测量出某一时刻的相位，则测出波通过的距离 2006年3月6日星期一 一、激光相位测距 为方便测量出相位变化，一般采用反射式。L=λ/2（m+Δm) 实际上： 1. cos为2π周期的函数， 不能直接测出m的变化量 2. 一般的检相电路,只能检出0-2π之间的相位变化 3.激光频率高达1014一般技术难以检测; 即使能检测, 波长很短无太多使用价值 2006年3月6日星期一 (一)激光相位测距原理 相位测量技术只能测量出不足2 π的相位尾数△φ ，即只能确定余数△m=△φ/2 π，而不能确定相位的整周期数m。因此，当被测距离L大于Ls时，用一把光尺是无法测定距离的。当距离小于Ls时，即m=0时，可确定距离 所以: 一般采用调制技术, 变相增大测量范围,即增大波长 为能实现长距高精度测量，可同时使用L。不同的几把光尺。最短的尺用于保证必要的测距精度，最长的尺用于保证测距仪的量程。目前，采用的测距技术主要有直接测尺频率和间接测尺频率两种。 2006年3月6日星期一 (二)激光相位测距技术 1.直接测尺频率 由测尺量度Ls。可得光尺的调制频率 这种方法所选定的测尺频率fs直接和测尺长度Ls相对应，即测尺长度直接由测尺频率决定，所以这种方式称为直接测尺频率方式。 直接测尺频率一般应用于短程测距 2006年3月6日星期一 2.间接测尺频率(合成波长) 间接测尺频率法测距的基本原理:即通过测量fs1和fs2频率的相位尾数并取其差值来间接测定相应的差频频率的相位尾数。通常把fs1和fs2称为间接侧尺频率，而把差频频率称为相当侧尺频率。 36 和37式分别乘fs2 fs1 相减得 式中： 2006年3月6日星期一 (三)相位测量技术 2006年3月6日星期一 (三)相位测量技术 2006年3月6日星期一 二、脉冲激光测距 脉冲激光测距是利用激光脉冲连续时间极短、能量在时间上相对集中、瞬时功率很大(一般可达兆瓦级)的特点， 有靶标的情况下，脉冲激光测量可达极远的测程。在进行几公里的近程测距时，如果精度要求不高，即使不使用靶标，只利用被测目标对脉冲激光的漫反射取得反射信号，也可以进行测距。 应用: 地形测量、战术前沿测距、导弹运行轨道跟踪，以及人造卫星、地球到月球距离的测量等。 2006年3月6日星期一 二、脉冲激光测距 主波:由脉