胡轩齐-淡江大学机械与机电工程学系.docVIP

邊界拘束對漣漪與皺波結構之影響 楊 文 華1莊郁凡2、、、、林清彬3 1淡江大學機械與機電工程研究所學生 2淡江大學機械與機電工程學系大學部學生 3淡江大學機械與機電工程學系教授 國科會計畫編號：NSC-96-2221-E-212-021  摘要 本研究在PDMS彈性薄膜表面成型微流道浮雕(Base-relief)，施予雙軸向拉伸後，以治具給予拘束固定，經鍍金後進行應變回復，於微流道兩側得到漣漪結構；PDMS薄膜給予雙軸向拉伸應變後，置於聚甲基丙烯酸酯平板上，藉由PDMS彈性薄膜與聚甲基丙烯酸酯界面間之摩擦阻抗，得到一種不規則波型之皺波型態。將此皺波結構予以電鑄鎳及使用UV膠轉印作二次翻模，成功地翻製高分子皺波結構。 關鍵字: PDMS；應變回復，雙軸向拉伸；皺波；電鑄 This research is forming base-relief on elastic，using fixture restrain after extending two-axis，and produce repple structure near by the Base-relief；Put the PDMS on the PMMA plane after giving two-axis strain. we get irregular Wrinkle by using the friction- resist between PDMS and PMMA plane. Giving wrinkle structure electroforming of nickel and use UV rubber to Cubic Transfer for second-molds，then successful reproduction of the structure of Polymer rugulate ， 1. 前言 週期性的漣漪結構可以做到小於光波長的尺寸，是故能夠產生繞射現象，並使光行進方向產生改變，繞射對光學元件是非常重要的基本原理，且其類似之微/奈米結構結構可在表面利用自我組裝方式做出，固此種週期性漣漪結能夠在光學上廣泛運用，例如：微型共焦微晶片，可撓式電子電路及穿戴式電子產品。 自Navez等人【1】的研究後，許多研究【2-5】使用不同的製作方法用以製作自我組裝之漣漪結構，例如(1)離子轟擊法:Navez等人[1]使用離子束轟擊玻璃表面而產生微波紋的圖案，並發現微波紋的形成方向和離子束的入射方向垂直。Park等人[2]利用離子濺鍍沖蝕(Erosion)金屬及半導體等材料表面，可以得到如微波紋、量子點(Quantum dots)、量子洞(Quantum holes)及量子線(Quantum wire)等微奈米結構。這種微奈米的結構是由於各種不同的自我組裝機制所致，如應變和成長動力學(Growth kinetics)的影響。另外，藉由改變離子束的入射角及劑量，可控制想要得到的圖案尺寸。(2)雷射照射法[3]:將雷射光照射在金屬、半導體及介電質等材料上，因雷射劑量在基材表面的分佈不均影響了融損的功效及入射雷射光束在粗糙表面隨機的散射，導致形成浪峰或山谷之週期性結構。(3)薄膜沈積和熱應力:Bowden等人[4]在加熱的聚二甲基矽氧烷薄膜表面，使用電子束沈積法在薄膜表面上先沈積一層厚度約5nm的鈦或鉻薄膜，再沈積一層厚度約50nm的金薄膜後給予冷卻，待冷卻至室溫，隨著試片的收縮會在試片表面各處產生了約20-50μm不等的波紋結構。根據Bowden等人[5]將PDMS薄膜加熱，再使用氧電漿在表面形成一層既薄又硬的矽酸鹽層(Silicate layer)後予以冷卻至室溫，在冷卻至室溫之過程中，冷卻收縮的PDMS薄膜使矽酸鹽層受到壓縮應力，不易收縮的矽酸鹽層為了達到平衡狀態，會以產生挫曲(Buckling)的形式來釋放此壓縮應力，而形成波長約0.5-10μm的波紋，而波紋之波長、振幅和圖案形狀，可由PDMS的加熱溫度和氧化時間決定。(4)機械拉伸法:VolynskII等人[6]使用離子濺鍍製程在不同的橡膠或高分子基材表面蒸鍍一層白金或金鍍層，再利用拉伸和收縮使基材表面產生類似波紋的圖案，其中在拉伸時波紋會朝著拉伸方向，在收縮時波紋則會轉向垂直收縮方向，而波紋的波長主要受金鍍層的厚度和基材的剛性影響。根據Katzenberg等人[7]將PDMS薄膜拉伸30%後，以氬離子電漿照射表面，經過離子轟擊後，不僅造成大分子主鏈斷裂，取而代之的鍵結是薄薄的表面層；剩下的自由基在重新交鏈前會沿著大分子碎片方向放鬆。由於破裂、放鬆和重新交鏈的交替作用，使得在氬離子作用下得到的薄層覆蓋在PDMS表面是呈完全放鬆的狀態，隨後將