Sol-Gel法高介电调谐PST薄膜的制备与.docVIP

浙江大学 硕士学位论文 Sol-Gel法高介电调谐PST薄膜的制备与研究 姓名：刘远良 申请学位级别：硕士 专业：材料学 指导教师：杜丕一  摘要 ?量级上，综合反映材料可调性的优值一般在??韵隆Ｗ罱麮??等发现钛酸锶铅 晶化温度较低，制备工艺与?微电子工艺兼容，更能够满足高性能的?基集成电路的 于起步阶段，尤其对薄膜的研究更少，薄膜的性能还远未达到期望值。本工作对溶胶凝 胶法制备??∧ぜ捌湫阅芙?辛私衔O晗傅难芯浚?竦昧诵阅苡旁降腜?薄膜。 本文全面综述了微波可调铁电薄膜材料的研究发展，总结了溶胶凝胶技术在制备此 类材料中的应用，简要介绍了铁电材料微波可调的基本原理及其应用。 过程及晶相形成时离子的活性所控制。通过快速热处理方法，在凝胶分解过程中得到的 高活性离子直接形成晶相，可以在较低的温度下形成晶相及得到相应更多的晶体含量。 保温热处理薄膜增加约?％。 的不断增加，薄膜中的晶体含量不断提高。当?的含量超过?的含量时，室温下的晶 体结构发生变化，由原来的立方相结构变成四方相结构，也即居里点温度随?的含量 增加而提高，铅和锶的含量相等时居里点出现在室温附近。控制铅含量可以控制一定温 度下的结构状态，可以有目的的控制使用温度附近有较高的介电温度系数，达到改善介 电调谐性能的目的。  浙江大学硕士学位论文 有望更低。薄膜的优值??????德氏驴筛叽??以上。并有望随频率的增大 而进一步提高。 ?  ???? ?????? ???? ? ??? ?? ? ????? ??? ????? ? ????????? ??? ? ????? ???????? ??????? ?? ????????????瑆?? ?％?????． ??????? ??????? ?? ? ?? ??? ??甪?????? ??????? ??????? ???????? ???????? ???? ?? ?? ? ?????? ? ? ??????瑃? ??? ??????????? ????? ? ?? ?? ???琍? ???? ????? ??????琣? ????猠?????．? ????? ? ?? ??? ?? ?? ? ? ? ? ????? ????? ? ?? ? ???琣? ?? ? ????? ?? ? ?? ?? ??猤? ? ?? ?????? ?? ?? ???? ??? ?? ?? ? ? ?????琣?????? ? ????? ?? ? ??? ?? ????? ????? ?? ? ????? ???．? ?? ?????? ??痝?? ????? ? ? ? ? ???? ? ?? ???? ? ? ???? ?? ?????  浙江大学硕士学位论文 ????? ??? ??????? ???? ??? ?? ? ????? ?％?????? ???? ??? ? ?? ? ? ? ?? ??? ? ?? ???? ? ? ? ? ???? ??猤? ?? ?? ? ????? ??? ? ?? ?? ?????? ?? ? ??????????． ? ?? ?／? ?? ? ??? ? ???? ?／? ? ?／? ???甌? ? ?? ?? ?? ???? ???? ?? ?? ?／? ? ?／?。? ?? ? ? ????? ? ???? ????? ? ? ?? ? ?? ??? ??? ?????? ?? ? ????． ????? ? ??????、?? ? ? ? ???畉? ????，?? ? ?? ????? ? ? ? ? ????? ?????? ?????? ? ? ? ?? ?? ?????????????? ????? ??????琲???? ????? ?? ?? ?? ?曲????? ????? ?? ?? ? ? ????? ?? ???? ?? ??????????? ??琣??? ????? ??? ??????甌? ?? ????? ?? ???? ? ??????? ???? ? ?????? ?????甌? ? ?? ?? ? ?????? ? ???? ????? ? ??琣? ?? ? ? ????? ????，?? ?????  引言 铁电材料是集铁电，压电，热释电，电光，光折变和非线形光学等性能于一体的 多功能材料。它不仅具有通常所说具有很高的介电常数并遵守???甒??定律，其体 内含有固有电偶极矩，在低于顺电相到铁电相的相转变温度?时，具有与温度相关的 白发极化强度?的铁电体的特征，而且能在机械作用下发生极化，激起晶体表面束缚 电荷效应的压电效应，以及由于温度的变化而产生电极化的热释电效应。同时铁电