传感器原理与电路设计第11讲电容概要.ppt

* Kleine Bilder um jeden Punkt graphisch zu untermalen 第5章 电容式传感器 11.19.2015 * 第11讲 GMES 2008 目录 工作原理 测量电路 典型应用 前言 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。 广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面（料位）、成份含量等方面的测量。 特点： 结构简单、体积小、分辨率高； 可实现非接触式测量； 动态响应好； 能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作； 电容量小，功率小，输出阻抗高，负载能力差，易受外界干扰产生不稳定现象。 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 1. 工作原理 工作原理 ε ：极板间介质的介电常数； ε0 ：真空介电常数； εr：极板间介质相对介电常数； A：两平行板所覆盖的面积； d：两平行板间的距离。 变介质型 变极距型 变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 2. 变面积型电容式传感器 工作原理 电容改变量与水平位移成线性关系 线位移变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 2. 变面积型电容式传感器 工作原理 电容改变量与角位移成线性关系 角位移变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 3. 变介质型电容式传感器 工作原理 电容增量与被测液位的高度成线性关系 相当于C1和C2并联 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 4. 变极距型电容式传感器 工作原理 电容增量与极板间距离的变化成近似直线关系 或泰勒展开 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 4. 变极距型电容式传感器 工作原理 击穿或短路问题 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。 d0越小传感器灵敏度越高，过小容易击穿或短路。可在极板件加入高介电常数的云母材料。相当于电容串联。 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 4. 变极距型电容式传感器 工作原理 非线性问题 分析同变磁阻式电感式传感器 为了提高灵敏度减小非线性误差，通常采用差动结构 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 1. 调频电路 测量电路 电容式传感器的电容值及电容变化值都十分微小，必须借助信号调节电路才能将其转换成与其成正比的电压、电流或频率，从而实现显示、记录和传输。相应的测量电路有调频电路、运算放大器、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 调频测量电路原理是将电容作为振荡器谐振回路的一部分 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 2. 运算放大器 测量电路 虚地：U+=U-=0 高阻抗：Ii=0 对平板电容器 输出电压与输入位移间存在线性关系 能克服变极距型电容传感器的非线性 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 3. 二极管双T型交流电桥 测量电路 过负载的平均电流不为0，RL上必有信号输出，其输出在一个周期内的平均值为： 当传感器没有输入时， C1＝C2， I1＝I2，一个周期内流过负载的平均电流为0； 当传感器有输入时，C1≠C2，I1 ≠ I2，一个周期内流 特点：输出信号的上升时间取决于负载电阻RL，非常快，可用于测量高速机械运动。 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 4. 脉冲宽度调制电路 测量电路 双稳态触发器输出电阻可忽略； 二极管反向电阻无穷大； （近似线性） 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 4. 脉冲宽度调制电路 测量电路 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 4. 脉冲宽度调制电路 测量电路 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 4. 脉冲宽度调制电路 测量电路 1.对于变极距型 可见，uo与Δd为线性关系 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 4. 脉冲宽度调制电路 测量电路 2.对于变面积型 可见，uo与ΔA为线性关系 综上，脉冲宽度调制电路适合变极距型和变面积式差动电容传感器，且为线性特性。 调频电路 二极管双T型交流电桥 运算放大器 脉冲宽度调制电路 * Kleine Bilder um jeden Punkt graphisch zu untermalen * Kleine Bilder um jeden Punkt graphisch zu untermalen * Kleine Bilder um jeden Punkt graphisch zu untermalen *