09第六章第四节等离子体表面处理.pptVIP

* * 离子渗氮 辉光离子渗氮简称离子氮化 是一项可以显著提高钢铁零件表面抗磨、耐疲劳和耐腐蚀性的表面处理工艺。离子渗氮是在1932年由德国的B．Benghaus发明的，1967年左右在德国和瑞士开始被实用化，70年代在我国迅速得到发展，至今全国已经有上千台设备。离子渗氮已经取代了传统的气体氮化工艺。 * * 离子渗氮是把被处理的工件放在真空室，抽真空至13.3～1.33Pa，然后充以稀薄的含氮气体如氨、热分解氨或氮氢混合气体，在阴阳极间加上直流高压后，气体被电离而发生辉光放电，放电过程中氮和氢离子在高压电场的作用下，冲向阴极表面，产生大量的热把工件加热到所需的温度，同时氮的离子或原子为工件表面所吸附，并迅速扩散，形成了一定厚度的氮化层。氢离子在工件表面可以起清除氧化膜的作用。 * * 离子渗氮机理 离子渗氮机理有几种模型，但只有阴极溅射模型被较广泛地接受。 在辉光放电中，具有高能量的氮、氢离子轰击作为阴极的工件， 一部分离子直接为表面所吸附，渗入工件; 另一部分通过阴极溅射轰击出电子及铁、氧等原子。溅射出的铁原子与附近的活性氮原子结合，形成FeN，被工件吸收。 * * 离子渗氮机理 FeN受到高温作用和离子的轰击会按照FeN→Fe2N → Fe3N → Fe4N的顺序分解为低价氮化铁，同时析出原子氮。 析出的原子氮会向工件内部渗入。 离子的轰击还可使材料生成晶格缺陷，促进氮的扩散。 * * 离子渗氮比传统气体渗氮速度快 扩散的空位机理认为，影响渗入元素扩散系数的因素除温度外，还有空位形成激活能和空位迁移激活能两项。 对于传统的气体氮化而言，既需空位迁移能量又需空位形成能量，扩散层中只有溶质浓度梯度。 而在离子轰击条件下，已有现成的大量空位，无需空位形成激活能，扩散层中既有溶质的浓度梯度，又有空位的浓度梯度。因此，离子氮化，扩散系数较大，这定性地说明了离子氮化比传统气体氮化速度快的原因。 * * 离子渗氮装置 * * 1．离子渗氮层的典型组织 通常离子氮化层可能出现四种典型组织： （1）只有扩散层； （2）γ’（Fe4N）化合物十扩散层； （3）ε化合物（Fe3N）十扩散层； （4）ε化合物十γ’化合物十扩散层。 γ’化合物韧性较好，强度较高，单相的γ’化合物组织主要用于承受较大动力载荷又要求耐磨的工作条件。 ε化合物耐磨和耐蚀性好，但脆性大，主要用于耐磨耐蚀工件。纯扩散层主要用于不能增加脆性的模具钢、耐磨合金等工件，用于不锈钢可使其耐蚀性降低的程度最小。 通过控制有关工艺参数可以获得希望的氮化层。 * * 用氨气进行传统的气体渗氮，在工件表面可获得ε合物层，该层下面是γ’化合物层，然后是扩散层。化合物层厚度可达50～100μm。 离子渗氮的主要特点是： ①如果得到的是γ’和ε两相化合物组织，这些化合物会沿层深均匀分布； ②化合物层比气体氮化薄，一般不超过25μm； ③ε相的含氮量比普通气体渗氮低，相当于Fe3N3.5。 * * 2．温度的影响 温度对氮化层厚度的影响见图。 从图中可见在600℃附近可获得最大厚度。 随温度的升高ε相的数量减少，γ’相的数量增多。 * * 3．时间的影响 随时间的延长，氮化物层的成分会发生变化，ε相减少，γ’相增多，这是由于ε相受到氮离子的不断轰击、热稳定性降低、易于分解的原因。 在适当长的时间下，可获得最大厚度的γ’层。 * * 4．气体成分的影响 离子氮化使用的气体采用N2＋H2，纯氨，纯氮等。 使用纯氨时，由于氨的分解率不易控制，气氛中的氮势不稳定。使用纯氮效果不如 N2＋H2好，且由于氧的混入使氮化层中出现Fe3O4。所以通常大都采用N2＋H2混合气。 在N2＋H2混合气中添加含碳气体，如甲烷，会有利于ε相的形成。 * * 5．气压的影响 一般起辉时使用较低的气压（67～267Pa），辉光稳定后提高气压到133～1333Pa。 混合气中的氮分压是一个重要的工艺参数。实际上存在—个与γ’相相平衡的氮的临界分压力，低于此值，γ’相就不稳定。氮分压应等于或大于此分压，才可生成氮化物层。例如，570℃， 20％N2＋ 80％ H2中氮的分压为0.03Pa时可得单相γ’相；当分压减小，则γ’消失，氮扩散到铁素体中。 * * 钢离子渗氮后的性能 ①硬度 ②疲劳强度 渗氮可以提高疲劳强度，且随氮化层深度的增加而增加。但氮化层深度增加到一最大值后疲劳极限将不再进一步增加。 ③强韧性 只有扩散层时韧性最好，单相γ’氮化物层时次之，单相ε氮化层最差。 * * 离子渗氮与其它渗氮方法的比较 ①渗氮速度快。 ②可以通过调节引入气体的成分，获得希望的渗氮层，即渗氮组织可控。 ③用辉光放电直接加热工件表面，无需辅助加热设备，方便、节能，又可获得均匀的加热