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华中科技大学 硕士学位论文 使用微石英晶振的磁力显微镜的研究 姓名：刘金 申请学位级别：硕士 专业：机械制造及其自动化 指导教师：张鸿海 2002.1.1  华中科技大学硕士学位论文 ???弘二 摘要 磁力显微镜???巧?枇ο晕⒕???的一个分支，它适用于各种磁 性材料磁结构的测量和研究。本文对基于微石英晶振的磁力显微镜的工作机 理、磁探针的制备原理、技术和影响因素等进行了深入的研究。 文中首先介绍了磁力显微镜的发展历程、工作过程、主要应用和存在的问 题，并对基于晶振的微力传感器的起源、发展和国内外的研究情况做了详细的 ’ 说明。 探讨了其与样品表面相逼近时相互作用的原理，建立了物理模型来对其动力学 特性进行解释。并对影响晶振振动的关键因素进行了分析。 介绍了磁力显微镜的工作原理，详细分析了磁针尖与磁性样品表面之间的 相互作用机理、磁力测量技术和图像模拟，并对影响其图像分辨率的因素进行 了分析。 、 说明了磁针尖的制备原理和技术，详细讨论了影响其质量的几个关键因 素，改进了其控制电路，进行了相应的实验验证，并对其结果给予了理论上的 解释，分析了针尖形状对图像分辨率的影响。 全面、系统地介绍了我们实验室开发的多功能、模块化的??低场?包 括了其结构、扫描装置、宽范围二维弹性工作台和控制系统等的设计。最后， 对全文进行了总结，并指出了今后研究工作的方向。∥ 关键词：磁力显微镜 磁探针 图像分辨率 晶振  华中科技大学硕士学位论文 ???? ? ??? ? ???? ?? ? ????? ??? ???? ? ?????甌? ???? ? ? ????? ??? ? ???? ? ??? ? ?? ????． ???? ?? ???? ? ????? ?? ???? ???? ???? ????? ???， ???? ? ? ??? ??? ?????????? ????? ????? ? ???? ?? ???? ????? ??? ????琣? ? ? ??? ??????? ???? ? ???? ??????? ? ???? ???? ????? ????? ?? ? ?? ??? ? ????? ? ? ??? ????? ???? ?? ?? ? ? ??? ?? ?? ???? ? ???? ?????? ? ????? ???? ? ? ?? ? ? ????????，????? ?????????瑃? ??? ??猟???? ???? ? ?? ? ???? ?? ??? ????：???? ??? ????? ???? ????? Ⅱ  华中科技大学硕士学位论文 绪论 ? 磁力显微镜的概述 ?? ??且恢稚?杼秸胂晕⒕???，它的探针是一个微小的铁磁性针尖， 在磁性材料表面上方扫描时能感受到样品杂散磁场的微小的作用力，探测这个 家族中的第～个成员????基于量子隧道效应。当一个原子尺度的金属针 尖非常接近样品，在有外电场存在时，就有隧道电流?７⑸??。强烈地依赖于 ??嗬氲奈⑿”浠?湍苁笽，改变～个数量级， 因而探测?＞湍艿玫骄哂性?臃直媛实难?繁砻嫒??枷蟆??能获得表面 电子结构信息，可在大气、真空、低温及液体覆盖下使用，因而被广泛应用于 极大地推动了纳米科技的发展。然而，由于在操作中需要旌加偏电压，因而 的电子云时，会产生微弱的排斥力，如范德瓦尔斯?? ???力、静电 力等，且力随样品表面形貌而变化。如果用激光束探测针尖悬臂的位移的方法 来探测该原子力，就能得到原子分辨率的样品形貌图象??Ｓ捎贏?不需要 磁性的，而且磁针尖在磁性材料表面上以恒定的高度扫描。就能感受到磁性材 料表面的杂散磁场的磁作用力，因而，探测磁力梯度的分布就能得到产生杂散 磁场的磁畴??ㄐ慈氲拇虐?、磁畴壁．以及畴壁中的微结构等表面磁结构 第～台??荕???热嗽???暄兄瞥晒Φ??。在??一??年期间， ?  华中科技大学硕士学位论文 世界上一些重要的实验室自行研制形式各异的???源判圆牧系腗?研 究作了探索和实践。大约从??年起，??牟?芬淹葡蚴谐。?沟肕? 的操作规范和简化了，可靠性提高了，因而广泛地应用于各种磁性材料的研究。 二、磁力显微镜的工作过程【? 法，使磁性针尖以?～???的频率上下振荡，并在样品的同一面积上进行 ?? 下振荡的磁针尖轻轻地敲击样品表面，可测出表面形貌数据。然后采用抬举模 扫描的轨迹进行第二次扫描，测出磁力数据。这样，在同一样品面积上逐行扫 描完毕，就能同时测出形貌和磁力?荻?图。众所周知，磁性材料的磁性与 有益。 第二次扫描 第一次扫描 ?蚊餐? ． ? 根细小的悬臂上有一个磁针尖，其下方的样品固定在一个压电扫描器上。磁针 尖和磁性样品的相互作用引起的悬臂的偏转