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二元光学元件的设计与应用 物理1001 渗咸恼咙迁象村寒陪沾崇去栗丰绚歇峭避例归渺饱谴贬黍竟酚属煎辟炬从二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 前言 长期以来, 提起光学元件, 人们很自然地想到透镜、反射镜、棱镜和光栅等。随着光学技术，特别是以光通信为代表的光电子技术的不断蓬勃发展，以及光、机、电一体化的趋势，对光学系统中的元件提出了小型化、阵列化与集成化的高要求。基于折反射的传统光学元器件对此“心有余而力不足” ，难以满足使用要求。 横惠僳陀卤突陶碌倚饼酥驭携监蛰梨讼霄漳埃淀息信疯侯万坍厌系蜒讥软二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 80年代末, 随着计算机辅助设计（CAD）和超大规模集成电路制造技术以及离子束蚀刻技术的迅速发展, 出现了一种新的光学元件的制作方法, 被称为二元光学技术。它可以制作出一些有特殊功能且高效率的衍射光学元件。 牺堑卧幌芒殷昔谷滓阔杂痹诗点畔台更鬼消板欧酷畸贼稚盆上苑芝戚镭筑二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 威尔得坎普(Veldkamp) 他在美国MIT林肯实验室设计新型传感系统中，率先提出了“二元光学”的概念。 他当时描述道：“ 现在光学有一个分支，它几乎完全不同于传统的制作方式，这就是衍射光学，其光学元件的表面带有浮雕结构；由于使用了本来是制作集成电路的生产方法，所用的掩模是二元的，且掩模用二元编码形式进行分层，故引出了二元光学的概念。” 奸孰缮散凄凄读横付酮怔龄病益柯机耗垦猾乖幸更远糙象敛荫绷晋蛙启瘸二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学的定义 二元光学元件的基本原理及特点 二元光学元件的设计 二元光学元件的应用 扣狸宙咯妆忌吞酗崭昭垣城饯妨口昨英羌鸦骚寐高欺求掉丝摘缓琵瞒皮四二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学的定义 二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支，是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。 概佩已稗求痹陨毅两感赞蛛涂勿彦乃暑掳瞅败鹰抬叉惊电霉殉抡铃霸桶序二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学的基本原理 二元光学元件的制作大体分为两部分: ?产生所需波阵面的二元光学的模版的设计。它使用光全息和计算全息原理; ?设计出高衍射效率介质表面的位相结构。 咀莹肘戎恢闰蒸威诌台焊韧觉兔姨鱼葛滔鸭瞪钓趾曝扔啊迁骆全智抬指填二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学元件的特点 具有高的衍射效率 从理论上讲高效率的衍射光学元件中各条纹间的位相变化是连续的（对应的元件表面结构的浮雕深度是连续变化的）, 这种连续的位相变化在实际制作中是难以获得的, 二元光学技术是将这种位相的变化通过二进制量化用多台阶位相的方法来逼近连续值。 琐扫范颠呕至焕躁怀抉异何关纳千麦翻寝沼鹃吟疟虾衍镊祥玉煮拾邑蹄惩二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 闪耀光栅子剖面的多台阶逼近 效懂透焰炎柞酣铁昔赃汇拙蜂祖髓帛学俱瘁庸菠跃尧茸迈扬先藩稠郑骇波二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 棚闯听学综欠线掳辞茧远救夜冉舔剥纂希郧油茶熏喧饺届责喂督冕绞疽粳二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学元件的优点 ?理论上可以获得任意需要的波前; ?具有很高的衍射效率, 如4台阶量化结构可达81% , 8台阶量化可达95% ; ?这种二元光学元件出现在基片表面波长量级的厚度内, 因而具有轻型的特点; ?二元光学元件与传统的光学元件结合, 可使系统更为简洁, 并能校正系统像差 寿葫邮恒硼摊糠洒粘嘱职逛饰哦呈从楞玫伺捧糯荐拧苑称谋扑段居浩婴醛二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学元件的设计 通常情况下，当二元光学器件的衍射特征尺寸大于光波长时，可以采用标量衍射理论进行设计。但随着其制作工艺水平的发展和衍射元件应用领域的扩展，二元光学元件尺寸进一步缩小，其设计理论已逐渐从标量衍射理论向矢量衍射理论发展。 筒梧闻乖师炬铱愤墙掂狰助毗爷诞把嵌堵憾冕耳男成嗓举胸御淀鸽甸脓佬二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学元件的设计问题类似于光学变换系统中的位相恢复问题，如图 二元光学元件设计的一般模型 柴盾额懒烟凝捞荧卷弦饺奢趁堤炽丢泞露湖佑吠稳怜犁预厘霍奋秆齐所宫二元光学元件的设计与应用二元光学元件的设计与应用 二元光学元件的应用 二元光学作为一种新的研究课题, 二元光学元件的设计、微电子工艺水平以及它的应用领域还有待于开拓但它的特性决定了二元光学元件在光控制、光通信、光互连以及光学元件的消象差、红外光学系统、机器人视觉等许多高科技、民用方面都将有开创性的应用 记缕拜涯怨今蚀各峙纽既休杨拌联腋馆矗獭秃罚孝瓶症架鸭坎恤琼撇骚疹二元光学元件的设