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空气流量传感器的发展现状 对于测量发动机进气空气质量,其发展历史并不长久,上个世纪七十年代风门式空气流量传感器是第一个使用在汽车上的空气流量传感器〔8]。其基本原理是通过间接的测量出发动机进气空气的体积,再将测得的空气体积换算成相对应的进气空气质量流量〔9]。由于风门式空气流量传感器测量的是进气空气的体积,因此,测量出来的信号必须对其空气密度的变化进行修正,而且其测量精度也不高,安装和维修都不方便。因此,很快就被接着出现了热式空气流量传感器所代替。热式空气流量传感器应用于汽车燃油喷射系统中约有三四十年左右,第1代车用热式空气流量传感器采用一根细铂线作为加热电阻,放在传感器的气道中作为传感器单元;第2代车用热式空气流量传感器在第一代的产品上对传感单元稍微做了一些改进,将加热铂线电阻缠绕在陶瓷或玻璃圆柱体加强了铂丝的强度,提高的产品的工作可靠性和寿命;第3代车用热式空气流量传感器与前两代产品有了很大的改变,采用薄膜式传感器,最初工程师们把加热铂电阻通过印刷的方式固定在玻璃或陶瓷基底上,后随着技术和工艺的进步,把加热铂电阻固定在微硅片基底上,例如BOSCH公司利用MEMS技术研发的热膜式空气流量传感器HFM系列产品。HFM系列产品通过不断的试验,性能得到极大的提高,在上个世纪末就已经开始批量生产,因为其良好的性能得到广泛的推广应用,目前在国内很多汽车都装配了此类传感器。对比第1、第2代热