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基于3D虚拟车间的氧化工艺流程教学设计 　　摘要：本文介绍了氧化工艺流程的教学设计，基于集成电路制造3D虚拟车间，整合多元化的信息化要素，优化教学过程，达成教学目标。 　　关键词：3D虚拟；教学设计；氧化工艺流程 　　中图分类号：G712 文献标志码：A 文章编号：1674-9324（2014）51-0233-02 　　微电子技术专业是我院最早成立的专业之一，为我国的微电子产业培养了大批优秀的人才。目前，本专业是省重点专业群核心专业，建成了中央财政支持的微电子技术综合实训基地，该实训基地占地面积约2000平方米，总投资近700万元，为技术技能型人才的培养奠定基础。但是，在《集成电路制造工艺》这门专业核心课程的理实一体化改革过程中，我们仍然遇到了一些的问题：一是氧化、光刻、刻蚀等核心工序设备每台都要50万以上，所以实训设备台套数较少，学生操作训练不足；二是集成电路制造设备存在高温、高压、有毒气体等危险因素，用电、耗材成本也很高。针对上述情况，我们自主开发了“集成电路制造3D虚拟车间”。这个软件利用3D虚拟仿真技术完全再现了生产车间的设备和环境，学生可以通过键盘和鼠标控制虚拟员工完成全部集成电路制造核心工序的工艺操作，相当于一个RPG游戏，课程知识融入到这个游戏中，学生玩游戏的过程就是学习的过程。通过这个工艺软件可以帮助学生体验生产车间的环境，熟悉核心工序的工艺流程，掌