TTV,Bow,Wrap,Ra参数说明选编.pptVIP

下载本文档

72
0
约小于1千字
约 8页
2017-03-02 发布于湖北
举报
版权申诉

TTV,Bow,Wrap,Ra参数说明选编.ppt

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

TTV,Bow,Wrap,Ra参数说明一，TTV（total thickness variation）总厚度变化定义：在厚度扫描或一系列点的厚度测量中，所测晶片的最大厚度与最小厚度的绝对差值。测试方法二，Bow弯曲度定义：晶片中心面凹凸形变的一种度量。它与晶片可能存在任何厚度变化无关，是晶片的一种体性质而不是表面特性。测试方法三，Wrap翘曲度定义：晶片中心面与基准平面之间的最大和最小距离之差。是晶片的体性质而不是其表面特性。测试方法 Ra轮廓算术平均偏差定义：在取样长度内，沿测量方向(Y方向）的轮廓线上的点与基准线之间距离绝对值的算术平均值。测试方法 * *