切片异常综述.ppt

③晶棒斜面太大也会造成线网断线，现在不是规定大于2MM的斜面粘到M2位置，其实这只是防止断线的损失，我们还可以把斜面大的放到M2位置，线网可以避开斜面切割，这样就更加安全了，最起码不会在收线端断线，也不会因停机带来的损失。 ④砂浆袋的压力是否正常，因为在切割中如果砂浆袋压力过高那说明砂浆袋里面堵塞了，或是砂浆管道里没有处理干净，这样的情况会造成在切割中没有规律性的断线，也就是哪个位置都很可能会导致断线，其次还会造成TTV超厚超薄等现象。 ⑤砂浆密度的控制，在切割中密度是很重要的一个环节，如切割能力达不到，那百分之百会断线，比如片子上有线痕、TTV、厚薄片，都和密度有直接关系，当然这只是一部分，好多异常还有其他原因，那就要观察片子上线痕、TTV、厚薄片在切割的安装位置，出刀口还是进刀口。 ⑥导轮的使用时间和表面有无勒痕也是很重要的，导轮勒痕会造成断线，还有线痕、TTV、厚薄片，或许还会有弯区片等情况。 1.钢线的张力：钢线的张力是硅片切割工艺中相当核心的要素之一。张力控制不 好是产生线痕片、崩边、甚至断线的重要原因。 ①钢线的张力过小，将会导致钢线弯曲度增大，带砂能力下降，切割能力降低。从而 出现线痕片等。 ②钢线张力过大，悬浮在钢线上的碳化硅微粉就 会难以进入锯缝，切割效率降低，出 现线痕片等，并且断线的几率很大。 ③如果当切到导向条的时候，放线轮摆动臂摇摆过大，会引起M位置出现轻微线痕和 厚薄片，严重会导致断线。 钢线张力异常会引起以下现象 切片异常汇总 1.断线 2.线痕 3.厚薄片 4.隐裂 5.缺角 6.崩边 7.弯曲片 8.掉棒 9.掉片 10·过滤袋堵塞 11.如何避免断线和断线的解决办法 12·钢线张力 目录 断线 收线轮断线 放线轮断线 线网断线 切割快结束后断线 ①放线轮断线： 1.最常见的是钢线质量问题造成断线; 2.其次张力异常造成断线; 3.垂直度不垂直造成断线; 4、滑轮质量问题造成断线’滑轮没有及时更换造成断线; 5、导论驱动异常造成断线。 其次放线轮压线断线分为假压线和真压线两种： 在这两种情况下真压线的断线率比假压线的高。其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线后采用反切方 法排线不正确也会产生。 ②收线轮断线： 其一排线的问题。在切割过程中收线轮处的排线轮由于行程有细微的过大，而切割后的钢线本身在切割过程中有了比较均匀的磨损；由于排线轮的行程大了一点，线和收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力（废钢线也有一定的张力）。被收线轮的飞边给切断的。如果在微观发方面看的话，是由于排线行程过大的那 一刹那 其二收线轮的原因。在排线正常的情况下由于收线轮的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞 边上的毛刺产生切向力很大足以截断一根0.140和0.120的钢线。 其三收线轮处的张力臂张力不平稳。在一切情况都排除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力 臂张力不平稳引起的，忽高忽低的张力给废钢线施加了一个变量的力。在金属力学中这是一大忌，钢线就是这 样被疲劳拉断了。 其四滑轮质量问题或滑轮没有及时更换造成断线。 ③线网断线： 1.导论没有处理干净，在高速切割中钢线因杂质而脱离导轮槽，导致钢线飞线（跳线），随着高速运转的钢线，跳线处与晶棒摩擦要比正常切割线网区域摩擦更严重，随着切割时间延长，砂浆的切割力也慢慢下降，跳线位置可能会断线; 2.晶棒两端斜面过大在切割中切到斜面边缘处钢线容易打滑，钢线脱离线槽，会把端面位置碎片带进线网，造成断线; 3.晶棒本身有杂质硬点，造成断线;导轮槽磨损，切割中钢线会错位，会引起硅片断裂，硅渣进入线网造成断线; 4. 钢线质量问题，切割中会造成线网断线; 5.砂浆密度过高，切割力达不到，造成没有规律性的线网断线; 6.砂浆帘赌赛，砂浆断流，钢线和晶棒干磨，造成线网断线;导轮驱动异常，可能会引起线网断线; 7.导向条下面有空隙，切割入刀口时碎导向条会与 钢线的切割方向，把硬物带进线网，造成断线。 ④切割快结束后断线： 其一线速也是断线的一种因素之一，在线速迅速降低也是致命的。这时候钢线由于惯性还的在向前运动，可是导轮已经按照降速后运转，同时晶棒还是在下降。这时钢线会在晶体中形成褶皱，在钢线上产生应力点；也就给断线埋下了隐患。这种断线对处发生在将要结束的时候。 其二晶棒粘接对接处胶抹的太多，快要切完时的线网直接