Ag层厚度对NiCoAg多层膜的微结构及磁学性能的影响.pdfVIP

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Ag层厚度对NiCoAg多层膜的微结构及磁学性能的影响.pdf

第25卷增刊 真空科学与技术学报 2005年12月 JOURNALOFVACUUMSCIENCEAND’IE衄N01 47 0GY(a佃妣.) Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构 及磁学性能的影响 艾家和耿魁伟杨国华 曾 飞 高 阳 潘峰。 (清华大学材料科学与工程系,先进材料教育部重点实验室北京100084) of InfluenceSilver ThicknessonMicrostructure Layer and of MagneticPropertiesNiCo/AgMultilayers andPan 灿Jlahe,GengKuiwei,YangGuohua,Zengfei,GaoYang Feng。 and Saence (研/abofAdt也ncedMatena/s,姊ofMatena/sEngtmmmg,TsmghuaUnwerstty,Betjmg,100084,现加) Ab鳓哺d地a∞由蚓岫and of stuedⅥtll magneUcpropemesNiCo/Agmululayem,grownbymag眦岫lsputtenng,were X-my electron resultsshowthatNICo onfccstructureds,lver dl缶actlon(XRD)and scanmngmlciDsoopy(SEM).The layersepltax】allygrow layer船 a that thickness affectstheNICo SIZeandIts AS propemes.For ll砖睁mable岫andlayer sq;mficantly gram magnebc example,鹤Aglayer tIIlcknessmciease8froml0amto36rml,the SIZeofNiCo协foundtobe5mnand50 gram rfln,respeeuvely.Moreover,as lIlcrea8瞄缸胁1.O珊t02NlCo orlellt曲ontothe dl】cec血(m《the 0砌,the easy-easy-axmof耻lgIlellzah∞moves缸胁perpendicularm-plane film whenthe IStluckerthan30 filmbecomes film,and nln,the super-pmmnagnetm. KeywordsNICo/Agmagneticmultdayer,Magnetronsputtering,MicrostmctureMagneticprope—des 明显地随着Ag层厚度增加而增大,当Ag层厚度为1.0啪时,多层膜是由约为5姗纳米晶所组成;当Ag层厚度增加到3.6 唧时,多层膜的晶粒尺寸增大到50 能有很强的影响,当Ag层厚度为1.0nul时,其易磁化轴倾向垂直于膜面;当Ag层厚度达到2.0nYn时,易磁化轴平行

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