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Love波传感器及其质量灵敏度测试.pdf
V01．19
第19卷第5期 传感技术学报 No．5
2006年10月 aⅡ嘲强EIOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006
the ofMass
LoveWaveSensorand Measurement
Sensitivity
Yi—huil‘
HUYou--z阮n91”，SHIJian-lian91”，JIAHong-guan91，WU
of nmd
130033，
s‘。?K_y， Changchun ；
Sciences 100039China”ics
1：丁hP InstituteL26。，A户声2i：d。p‘i：5’akg‘m“n^5‘：‘uteChinese ， Optics,F，ine，
I．Postgraduateof Academyof Beijing
f P忱ysic5’chi竹85。A。。d。”y。，]
Abstract：For influidfield，Lovewavesensorswere andfabricatedon
sensingapplications designed
liquid
withPMMAfilm masssensitivitiesofLovewavesensors
36。-YX substrate thin
LiTaOa guidinglayer．The
weremeasured withstablecurrent．Themass measures
byelectroplatingexperiment sensitivity 2．2819一1
tomass of wereana—
cm2．Forthefarther of ingredients
improvementsensitivity，theimpacts sensitivity
thicknessof andthicknessof cathode．
as electroforming
lyzed，such guidinglayer，devicetemperature
wave
Keywords：Lovesensor；LiTa03；PMMA；sensitivity
EEACC：7230；7810C
Love波传感器及其质量灵敏度测试
胡友旺1’2，史建亮1’2，贾宏光1，吴一辉h
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