本科生毕业论文设计题目直流放电阴极溅射粒子的热化作者姓名魏.doc

本科生毕业论文设计 题目 直流放电阴极溅射粒子的热化 作者姓名 魏来 指导教师 张连珠 所在学院 汇华学院 专 业 物理学 班级（届） 2011届物理1班 完成日期 2011 年 5 月 15 日 目录 中文摘要、关键词 ……………………………………………（ii） 绪论 …………………………………………………… （1） 2、直流辉光放电………………………………………………（1） 2.1直流辉光放电的特性 ………………………………………（1） 2.2直流辉光放电的实验研究…………………………………（2）2.3直流辉光放电的应用………………………………………（2） 3、溅射粒子的热化过程、碰撞的相互作用势和碰撞截面……（3） 3.1溅射粒子的热化过程………………………………………（3） 3.2粒子间相互作用…………………………………… （3） 3.3气体的碰撞截面……………………………………………（4） 4、 阴极溅射粒子的行为………………………………………（5） 4.1铜原子从阴极出来的能量角度和方位角…………………（5） 4.2在过了时间后铜原子的运动轨迹………………………（5） 4.3碰撞的概率和碰撞后粒子的热化…………………………（6） 参考文献 ………………………………………………………（9） 英文摘要、关键字………………………………………………（9） 直流放电阴极溅射粒子的热化 摘 要 在直流辉光放电中，要想准确描述阴极溅射粒子的行为，首先要了解什么是辉光放电，直流辉光放电的过程是什么以及放电过程有哪些特性。因为是在此基础上来研究阴极溅射粒子的行为。在明白了辉光放电的一些基本知识以后，在描述粒子溅射行为的过程中，需要应用到的其他知识有：粒子之间的相互作用势、粒子的碰撞类型、粒子的碰撞界面以及粒子的碰撞几率等。这些东西是准确描述粒子行为的必要的知识。粒子之间的碰撞截面决定了粒子的碰撞几率，碰撞几率又决定了粒子之间是否发生碰撞，以及碰撞后粒子的运动规律。本文主要研究铜原子从阴极被溅射出来后的状态，经过一小段时间后的状态以及发生碰撞后的状态。如果粒子没有发生碰撞将保持原来的运动轨迹运动，如果粒子发生碰撞则按新的轨迹运动，并重复此运动直到被电离化。本文将着重研究溅射铜原子的运动规律。 关键词：辉光放电，碰撞截面，粒子，溅射，行为  1绪论 随着低温等离子体在微电子工业中材料加工器件制作等方面广泛应用,例如:微电子工业中它可用于表面刻蚀、表面改性以及薄膜沉积,它还可以应用于激光、荧光灯以及平面等离子体显示屏等方面,对辉光放电的理论、计算机模拟也就显得更为重要。在实验上一般通过郎缪尔电探针技术来测量电子的能量及其分布,已经有了相关的报道。多年来国内外对Ar等原子气体直流辉光放电内粒子行为规律进行了大量模拟与理论计算工作。在某些等离子体问题中,流体理论和动力学理论都不足以描述等离子体行为,此时必须跟踪个别粒子轨道,为深入研究直流辉光放电的初始放电过程,探究其电离本质,有必要获得大量粒子的全面信息,包括其能量,密度,运动轨迹等。因此,采用粒子模拟(PIC)与蒙特卡罗(MCC)相结合的方法能更进一步地模拟出这一过程中粒子运动的特性。这种方法精确地考虑到了带电粒子从电场中获得的能量以及由于碰撞损失的能量,从最微观的角度模拟带电粒子,而且适合模拟复杂多维的物理现象。目前,模拟还主要集中于稳态,而对于直流辉光放电初始过程的研究很少。因此，对直流辉光放电的理论、计算机模拟也就显得更为重要。直流辉光放电是等离子体的一个重要应用及研究领域。目前，直流辉光放电等离子体技术的应用领域很广。为进一步提高应用价值，多年来研究工作者已从理论模拟和实验两个方面进行了大量的工作。.本文对直流辉光放电过程中溅射粒子的热化进行研究。 2直流辉光放电 2.1直流辉光放电特性 辉光放电为低压气体的自持导电过程。在低压气体内引入电场，当外加电压增加到一定的值时，气体发生自持导电过程。放电区内激发态粒子因自发辐射而发光。其光强分布在阴阳电极间呈现有规律的明暗相间分布，按其发光特性，辉光放电空间沿阴极到阳极方向大致可以分为八个区域:阿斯顿暗区、阴极光层、阴极暗区、负辉区、法拉第暗区、正柱区、阳极暗区、阳极辉区。按电位分布情况放电空间一般可分为三个有代表性的区域（1）紧靠阴极的阴极位降区(或称为阴极暗区)，(2)紧靠阳极的阳极暗区，(3)中间占空间比例最大的区域，负辉区，区场强近似为零，是等离子体区。其中，阴极位