一种高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量标定方法.pdfVIP

赵维谦 邱丽荣 沙定国 (北京理工大学 光电工程系，北京100081) 摘 要 提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法，该方法除可改善光触针传感 器的空间分辨力、线性和系统抗干扰能力外，还实现了共焦测量法的双极性绝对测量及量程范围的扩宽。理论分 析和实验表明，当入射激光束波长A=632．8nln，测量物镜数值孔径取NA=0．85，占=0．5，u肼=6．95时，该差动共焦 传感器的横向分辨力优于0．2 nm。该差动共焦测量技术为光触针传感器空间分辨力的提高提 ton，轴向分辨力优于2 供了一种新的方法，其除用于超精密三维微细结构工件的测量外，还町用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量。 关键词 超分辨共焦显微镜二元光学器件表面轮廓光触针 置分光镜(BS)，BS将测量光束分为两路，一路被聚 1 引 言 光镜1聚焦，另一路被聚光镜2聚焦，针孔1位于聚 光镜l焦后距离肘处，探测器1紧贴针孔l后。针 随着半导体技术向超大规模集成电路、毫米波 孔2位于聚光镜2焦前距离肘处，探测器2紧贴针 及量子器件的发展，微细加工技术已进入深亚微米、 孔2后，肘对应的光学坐标为u肌。 纳米三维加工技术领域，迫切需要研究适应其发展 要求的高空间分辨力的光触针类测量传感器 (LPS)。但现有的基于临界角、像散法和共焦法等 原理的LPS，其横向分辨力与轴向分辨力极不匹配， 轴向分辨力尽管已达纳米量级，但是横向分辨力由 于受衍射效应的限制仅达0．4斗m左右¨“J。虽然 LPS的横向分辨力可以通过增大测量物镜的数值孑L 径和减小入射光波的波长等传统方法来改善，但效 果有限【5曲J。事实上，横向分辨力难以提高是制约 LPS空间分辨力提高的根本所在。 为了改善LPS的空间分辨力，本文融合整形环 形光超分辨共焦检测法和差动共焦显微检测法各自 的技术特点，提出一种新的具有高空问分辨力的整 图l 整形环形光式差动共焦显微原理图 形环形光式差动共焦测量法。该方法利用环形光超 分辨技术最大程度地提高了横向分辨力，利用差动 当被测物进行轴向和横向扫描时，探测器1探 共焦技术提高了轴向分辨力。由于差动共焦光路的 测到的信号为，。(秽，u，+“肼)，探测器2探测到的信 布置，使基于该测量方法的高空间分辨力LPS可实 现双极性绝对测最，这是已有的三维超分辨光瞳共 “村)差动相减得 焦测量法无法比拟的。 厶(／3,配，H村)=，l(移，u，+u肘)～厶(秽，“，～u村) 2 整形环形光式差动共焦显微测量法 =万土币·协懈mJ。(ply)坤{2 2 整形环形光差动共焦显微测量原理如图1所 (I￡∥(tt+uM)／2Jo(m)040 示。在经偏振分光镜(PBS)反射的测量光束中，放 12) (1) 一l￡∥“一u譬)／2Jo(pv)pdp ·234· 一种高空问丹辨力的整形环形光式差动共焦测量标定方法 任取u。=521，F-(L5时，由式(1)得，整形环 形光差动共焦测量系统的L(”，u，u。)归一化曲线 如图2所示。 ；嚣