基于柔性衬底太阳能电池的ITO透明导电膜研究.pdfVIP

．714． 中国太阳能光伏进展 基于柔性衬底太阳能电池的ITO、透明导电膜研究 赵飞 齐龙茵 蔡宏昆 冯凯李胜林张德贤 天滓市南开大学电子科学与技术系天津市300071 【摘 X10．2Pa工 要】 本文通过改进设备用电子束蒸发在衬底温度为100。C、氧分压为5 艺条件下制备ITO薄膜，并使用台阶仪，分光光度计、XRD等测试手段分析了 ．薄膜的结构和性能，所制得ITO膜在膜厚为lOOnm左右时，电阻率在2．7—4．5 和ITO膜两种透明顶电极在柔性衬底太阳电池上的应用，分析ITO透明顶电极 对电池的影响及其原因。 【关键词】 ITO柔性衬底太阳能电池电子束蒸发 Tin onIndium forFlexibleSolarCells Study Oxide(ITO)Films ‘ ，。。● ’…^ ZhaoFei·Qi Cai KaiLi Dexian Longyin Feng Hongkun Shenglin。Zhang DepartmentofElectronicScience 300071，P．R．China andTechnology，NankaiUniversity，Tianjin ’ ’ 』． 0引言 随着小卫星空间技术的发展，许多国家已经开始了从硬质衬底电池转向柔性衬底的研 究【l’3】。．由于柔性衬底具有质轻，可弯曲，不易碎，便于运输，．便于应用等特点，使其对航 天技术应用更具有特殊的意义，而对柔性衬底显示屏等民用领域也具有巨大的应用背景【l。】。 但是由于有机物柔性衬底材料不耐高温，不能耐受高能粒子轰击及射线辐射，这对柔性衬底 太阳电池的研制提出了一系列难题。柔性太阳电池的顶电极是电池结构的关键部分之一，因 ITO薄膜具有高的可见光透光率、低的电阻率而被作为首选材料。而采用电子束蒸发技术制 备ITO透明顶电极一般都需要较高的衬底温度。本论文针对在柔性衬底薄膜太阳电池上采用 电子束蒸发的方法低温制备ITO透明顶电极薄膜面临的问题进行了研究。 1实、验 镀膜系统(如图1所示)的主要特点是：在镀膜室里设置定向喷氧的喷嘴，氧气喷嘴对 着膜材，使在蒸发过程中对膜材进行高温补氧；衬底距离蒸发源的高度是。15cm；。设置圆柱 、 基础研究、新材料及新概念太阳电池 ·715． 型不锈钢圆筒，稳定蒸发过程中的气氛，减少蒸发过程中对真空钟罩的污染。我们实验中所 用电子束蒸发镀膜设备是采用东方盖德真空设备 公司的EEG一6A型电子枪j蒸发膜料为IIl203和 Sn02混合物，质量比为95：5，是黄绿色圆柱形固 体。将玻璃衬底用电子清洗剂蹭拭并超声清洗后， 用去离子水冲洗数遍，再用氮气吹干并烘干水汽， 和以PI为衬底的已经制备了电池其他部分的电池 一起置入光学镀膜系统的真空钟罩内抽真空制备 ITO透明导电膜。重复相同实验条件-(衬底温度 X 1000C、氧分压510—2pa)，分别制备出4组样品， 编号1，2，3，4：n．o膜用AMBIOSTECHNOLOGY 公司生产的XP一2型台阶仪测量膜厚，用VsU一