第三版清洗工艺手册终稿.docxVIP

0目录 前言 1 第六章 清洗、分选工序 1 一 工序说明 1 二 工艺流程图 1 三 主要设备 1 四 环境标准 2 五 主要工艺参数 2 六 过程控制点 2 七 成品标准 3 附件 .4 一 切割原理 4 二 碳化硅粉 4 三 切割液 5 前言 文件说明： 本文针对切片工艺参数、过程控制点以及常见异常问题等作较为系统的总结。 编制目的： 加强切片车间在线管控，提高技术人员现场分析问题能力，快速解决现场问题。 适用范围：硅片清洗分选。 清洗、分选工序 一 工序说明 将硅片清洗干净，包装入库。 二 工艺流程图 三 主要设备 序号 类型 名称 型号 厂家 1 主 硅片脱胶机 QZTJ-PV800 强众超声科技 2 主 全自动硅片清洗机 SG2Y40-10CD 张家港市超声电器有限公司 3 主 改装全自动硅片清洗机 C6-60 张家港市港威超声 4 主 插片机 TC-2400 无锡市南亚科技有限公司 5 主 甩干机 SG10C 无锡奥曼特 6 检测 硅片分选机 WTS-3000 FWAS-300 台湾台达 Fortix 四 环境标准 洁净度：清洗地面尽量不能有积水（防止员工滑到）、胶丝和其他的脏东西；所用物品需摆放整齐，归类摆放。 温湿度：温度25±5℃，湿度无要求。 五 主要工艺参数 脱胶 脱胶温度 每槽时间 脱胶剂用量 得力胶70±5℃ 美国胶 60±5℃ 　 一槽 二槽 三槽 四槽 13L/75刀 料1 600s 600s 600s 600s 料2 600-1200s 600-1200s 600s 600s 改装全自动清洗机 槽号 1# 2# 3# 4# 5# 6# 清洗剂用量（双组份） 设定温度（℃） 40 40 55-60 55-60 40 40 A组分2L、B组分1L清洗两刀后，添加A组分1L、B组分0.5L，清洗两刀后添加A组分1L、B组分0.5L，再清洗两刀后全部更换 循环时间（s） 130 全自动清洗机 槽 号 1# 2# 3# 4# 5# 6# 7# 8# 9# 烘道 清洗剂用量（双组份） 设定温度（℃） 40 40 40 55-60 55-60 40 40 40 85 70 A组分5L、B组分2.5L清洗6刀后，添加A组分3L、B组分1.5L，再清洗6刀后全部更换 清洗时间（s） 190 190 190 190 190 190 190 170 60 195 改装全自动清洗机 槽号 1# 2# 3# 4# 5# 6# 清洗剂用量（单组份） 设定温度（℃） 40 40 55-60 55-60 40 40 药水槽各加入4L清洗剂清洗4刀后，再各加入2L后清洗至下班 循环时间（s） 130 全自动清洗机 槽 号 1# 2# 3# 4# 5# 6# 7# 8# 9# 烘道 清洗剂用量（单组份） 设定温度（℃） 40 40 40 55-60 55-60 40 40 40 85 70 药水槽各加入8L清洗剂清洗6刀后，再各添加4L，清洗至下班 清洗时间（s） 190 190 190 190 190 190 190 170 60 195 六过程控制点 序号 分类 控制点 标准 设定操作方法 检验仪器 影响结果 备注 1 脱胶 温度 美国胶65±5℃ 得力胶70±5℃ 固定（工艺设定） 硅片脱不下来/小崩边 根据生产需要可在此基础上稍做调整 时间 600s-1200s 固定（工艺设定） 硅片脱不下来/硅落、毛边 根据生产需要可在此基础上稍做调整 脱胶剂用量 13L/75刀 固定（工艺设定） 量筒 小崩边 喷淋头堵塞 不堵塞 目测 崩边 过滤槽清理 脱胶机水箱中的过滤槽需每班清理一次 喷淋头堵塞 2 插片 指纹片 无双片，插片无声，满水插片 戴胶手套操作 分选机 不能为A品 对电池制绒有影响 周转小车侧面垫海绵 擦胶后的硅片放进周转小车时，侧面需垫上海绵 目测 碎片 周转小车底部异物清理 将每一刀擦胶后的硅片放入周转小车前，需将小车中的异物清理干净 目测 碎片、硅落、毛边 过滤网清洗 每班对插片机金属过滤网以及塑料过滤网进行一次清洗 目测 影响插片质量 换水 每班需对插片机至少一次换水 目测 影响插片质量 如果出现硅片较脏导致插片机中水较脏情况，需及时换水 插片盒底部垫海绵 插片时，需在插片盒下面垫上海绵 目测 硅落、毛边 3 清洗 清洗槽温度 30℃-60℃ 固定（工艺设定） 脏污/水印 如果有水印产生可适当调高温度 烘道 70℃-80℃ 每槽时间 170-300s 固定（工艺设定） 脏污/水印 如果有水印产生可适当调长时间 柠檬酸、氢氧化钠使