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基于预测轨迹逆控制的AFM扫描方法.pdf
the27。ChineseControlConference
of
Proceedings
July
16—18．2008．Kunming，Yunnan，China
基于预测轨迹逆控制的AFM扫描方法木
张玉东，方勇纯，董晓坤，周娴玮
南开大学信息学院机器人所，天津300071
E—mail：zhangyd@robot．nankai．edu．ca
E—mail：yfang@robot．nankai．edu．ca
摘 要：本文提出了一种基于预测轨迹的逆控制方法，并将其戍用于原子力显微镜扫描成像系统。具体而言，针对
AFM控制系统的特点，将样品形貌视为系统扰动信号，设计了一种基于横、纵两个方向的轨迹预测器，并利用前馈与
反馈相结合的逆控制方法消除扰动对系统输出的影响。另外，考虑剑AFM系统的非最小相位特点，没计了一种稳定的
求逆方法，保证了系统的稳态性能。仿真结果表叫这种基于预测轨迹的逆控制策略可以明显减少控制误差，并且有效
地改善暂态性能，从面提岛AFId系统的成像精度，减少扫描过程中对样品和探针带来的损伤。
关键词：原子力显微镜，预测，逆控制，非最小相位系统
Predictive BasedInverseControlofAFM
Traiectory
Method
Scanning
Xianwei
Xiaokun，Zhou
ZhangYudong，FangYongchun，Dong
InstituteofRoboticsandAutomaticInformation 30007
University，Tianjin1，P．R．China
System，Nankai
E-mail：zhangyd@robot．nankai．edu．cn
E—mail：yfang@robot．nankai．edu．cn
a based is toAFM
Abstract：Thepaper inversecontroImethod，which
proposespredictivetrajectory applied scanningprocess
thefeaturesofatomicforce whichthe of
Specifically．considering microscope(AFM)congolsystem．in topographysample
carlbeseenas disturbance．a basedontwoaxesiS thefeed—forward／feedbackinverse
system trajectorypredictor designed．and
stable modeliScalculatedforthe
control iS toeliminatethis inverse
strategyemployed disturbance．Additionally．a
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