残留气体分析仪(ResidualGasAnalyzers)规格书.doc

OLED器件實驗製備系統規格書JJpec. 此份文件為俊尚科技有限公司針對OLED材料驗證及元件製作所研發之高真空蒸鍍系統規格說明書。 材料驗證方面例如：：；： 硬體設備規格 1. 真空腔體 真空腔體為不銹鋼製，內壁經拋光、研磨適合高真空使用。 與手套箱的連接介面。 真空計連接Port X 2(高真空計與低真空計)。 高真空閥連接Port X 1。 低真空閥連接Port X 1。 腔體洩氣閥連接Port X 1。 膜厚感測頭F/T連接Port X 6。 2. 真空程序控制閥門 氣動式高真空閥。 氣動式腔體粗抽閥。 氣動式冷凍幫浦粗抽閥。 氣動式腔體洩氣閥。 氣動式冷凍幫浦再生通氣閥。 電動式低真空抽氣管路洩氣閥。 3. 真空抽氣系統 12吋冷凍式高真空式幫浦。 油迴轉式真空幫浦。 4. 真空量測系統 真空計控制器。 冷陰極式高真空計一組。 派藍尼式低真空計兩組。 六點式輸出繼電器接點。 連接真空計與控制器電纜線。 5. 膜厚監視系統 六組膜厚感測頭。 六組石英震盪器。 六組真空導入端子。 六組連接電纜線。 桌上型電腦一台。±0.1mm。 一次承載10片40mmX40mm的玻璃基板。 真空狀態下，可旋轉並調控轉速(5~50 rpm)。需在真空狀態下切換Mask。玻璃基板載具可側移到氮氣手套箱處進行載卸玻璃基板可以拆下基板載具換成其他基板尺寸的載具。”彩色LCD觸控式面板操作介面。 PLC中央連線控制運算。 19”標準儀控箱方便將來增加其他零組件。 突發狀況緊急停止按鈕開關。 真空閥門互鎖連控保護。 變壓器 3相380V/220V/110V。製程參數紀錄能力，包括﹕時間、各crystal sensor鍍率、膜厚值、各source 溫度、功率、各shutter狀態、真空值(高、低真空讀值)、substrate holder旋轉速度、alarm 訊息。10. L型氮氣手套箱 4個獨立的手套 預留UV封裝機構的孔位 預留蒸鍍機傳送樣品的孔位 1個大傳遞腔體及小的傳遞腔 11. UV封裝機構1 set鋁合金材質，照光高度可調整。一次承載5片4mmX 40mm的玻璃基板。系統性能驗收規範 真空抽氣速率：≦30 min。 終極真空壓力：≦≦24 hr。 有機材料蒸鍍速率控制： Alq3 Rate : 2?/sec±-0.2?/sec。 NBP Rate : 2?/sec±-0.2?/sec。 膜厚均勻性 : ±5%，量測Alq3 1000?，直徑34mm。 本公司提供系統所需之電源、冷卻水、空壓源、安置尺寸等相關規格資料。本公司負責系統的安裝(無塵室搬運除外)。非人為操作不當或天災之損壞情況下，自交貨驗收日起提供一年免費維修及零件更換之保固(不包含耗材類。海外差旅之費用。 提供教育訓練，包括：機器操作、基本維修、拆卸保養及安全注意事項之訓練提供系統結構圖及操作手冊。週邊需求：由客戶端提供系統所需的電源、冷卻水、空壓源、氮氣(或其他供腔體製程反應的氣體)良好接地等，一次側工程至系統預定安置處如製程氣體為危險氣體，客戶需自行依危險程度考量，做安全性的配管和儀器檢知，如需本公司配合安裝，會另行報價給客戶。防污板 6 1 ﹝圖一﹞系統外觀 ﹝圖二﹞真空腔體 ﹝圖三﹞真空抽氣系統 ﹝圖四﹞儀控箱外觀 ﹝圖五﹞手套箱外觀 JST