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機 械 專 題 報 告  真空幫浦 班級:自控四乙 學號 姓名:鄭宏昇 圖片來源:.tw/shopping/Browse.do?op=vpsid=158cid=28472pid=1311728 (Vacuumpump) 目 錄 介 紹 真空幫浦發展史 何謂真空幫浦 真空幫浦種類介紹 真空幫浦原理 真空幫浦用途 參考文獻 圖片來源: /supplier/product_details.asp?ProID=1491SupID=1432 真空幫浦-發展史 真空幫浦技術是一項古老的技術，早在 1640 年 Galileo 即曾經利用活塞機構來抽真空。現今之真空幫浦則與舊有的幫浦在抽氣性能、功能設計及應用範圍上有著截然不同之處。最主要原因是因應高科技產業如半導體製造及光電產業等 圖片來源: /f?kz=491135475 馬德寶半球實驗 何謂真空幫浦 一特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度之真空狀態之機件，統稱為真空幫浦。有的真空幫浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉幫浦、擴散幫浦或噴射幫浦之類的蒸氣噴射泵浦。 圖片來源.tw/shopping/Browse.do?op=vpsid=158cid=28472pid=1311728 電動真空幫浦 真空幫浦種類介紹 真空幫浦-排氣式 此類真空幫浦其作用為將低氣壓處的氣體排送到高氣壓的地方，如果只應用一個幫浦抽氣，只能將系統內得氣體直接排出到系統外面的大氣中，如果應用兩階段抽氣，亦即應用兩種不同的幫浦串聯抽真空，則氣體從系統內較低氣壓處被一幫浦送到較高氣壓處，然後再由另一幫浦抽送到大氣中，通常後者被稱為前段幫浦亦稱為粗略幫浦，前者有時被稱為高真空幫浦。 圖片來源.tw/ch/61/CW220/NMD/220509.html 此類幫浦其抽氣原理與排氣式完全不同，被抽的氣體被幫浦抽到其中，永久或暫時貯藏在幫浦中而不排出。通常被抽的氣體分子在幫浦的進口附近受高電壓離子化後，被幫浦中的一種特殊物質物理吸附或結合成化合物。也有靠低溫將此些氣體分子（通常為空氣），冷凍而儲存在幫浦內。 儲氣式幫浦近年來發展迅速，幾乎所有高真空及超高真空均採用此類幫浦。 真空幫浦-儲氣式 圖片來源:/prolistca.php?C2ID=18 真空幫浦-原理 真空幫浦(vacuumpump)以產生真空為目的的低壓發生器，氣體自動會流向壓力較低之處是一種自然法則。真空幫浦的使命就是在系統中連續維持低壓，使氣體相連的容器流動過來；依照自然法則，氣體是自然流過來，而不是勉強硬拉過來。 圖片來源: .tw/product/tabid/884/ProdID/1169/RtnTab/884/PageIndex/1/CatID/703/Default.aspx 輔助式魯式真空幫浦抽氣系統 真空幫浦-用途 由於真空幫浦之性能隨操作條件有很大的差異，針對不同之操作壓力範圍必須使用不同種類之真空幫浦，真空幫浦對產業之重要性，是因為對任何製程機台、鍍膜設備或真空儀器而言，唯有靠真空幫浦來抽，才能以人為方式創造出一低壓、潔淨、無污染、低水氣之高品質。 真空環境，這個真空環境正是確保製程品質，達到設計目標之最重要條件。 圖片來源: /new_page_10.htm 耐腐蝕真空幫浦 1.請問歷史上哪一個著名的實驗曾使用真空幫浦? 馬德寶半球實驗 2.請問真空幫補分為哪兩大類? (1)排氣式 (2)儲氣式 3.請問真空幫浦，能以人為方式創造出哪四項高品質? (1)低壓 (2)潔淨(3)無污染(4)低水氣 真空幫浦- QA 參考文獻 真空幫浦發展史: .tw/ 真空幫浦原理: .tw/ 真空幫浦種類介紹: .tw/ 報告完畢-謝謝大家 * *