新型硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率研究.pdf

172 中国感光学会2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会论文集 新型硫绘盐产酸剂的合成及其 产酸效率研究 杨幸幸，邹应全 (北京师范大学化学学院，北京100875) 摘要：本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的产酸剂，其中吩噻口恶体系的产酸剂 由本研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR，HNMR，UV等进行了结构表征，并通过使用 酸敏染料研究了六种产酸剂的产酸效率，优选出了硫杂蒽酮系列的产酸剂，为进一步用于 248nm光致抗蚀剂提供参考。 关键词：硫箱盐；产酸剂；产酸效率 1前言 光产酸剂是指在适当能量的光的作用下，能产生酸的化合物。在化学增幅型光致抗蚀剂 体系中，产酸剂在特殊光源的作用下产生少量的酸，此酸作为催化剂使光照区域发生酸解反 应，从而使曝光区域和1F曝光区域有很大的溶解性差异，可以通过显影得到所需要的图像。 目前化学增幅型成像体系中的产酸剂主要为绘盐，筠盐中的阴离子在紫外光的照射F可以夺 氢成酸，目前使用较多的有硫翁盐和碘翁盐，由于硫箱盐比碘绘盐稳定，因此对硫筠盐的研 究更多。本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的硫绘盐产酸剂，其中吩噻1：1恶体系的产 酸剂尚未见相关报道，由研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR，HNMR,UV等进行了 结构表征，并通过使用酸敏染料罗丹明B测定了六种产酸剂的产酸效率，为进一步用于 248nm光致抗蚀剂提供参考。本研究合成的几种新型硫筠盐同目前主流的锚盐相比，具有稳 定性高，产酸效率高，易分离提纯，合成过程简单环保的特点，其中，硫杂葸酮体系的产酸 剂产酸效率极高，具有很好的应用前景。 2实验部分 P．1 q三D 仅 CF3S03 +Dc岫等 +AgB，I qⅪ CF3S03 P．2 q 图1化合物P_1和P-2的合成 The andP-2 I ofP一1 Fig Synthesis 中国感光学会2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会论文集 173 《p qⅪ qD 审晦N l o b {} L q三砀 6垮¨ I 臼 cmcoon,ic}b0)to concentrated