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ITO靶材的制备与发展趋势
国玻璃 ITO靶材的制备与发展趋
ITO靶材的制备与发展趋势
向光 王友乐
广东凯盛光伏技术研究院有限公司 广东 佛山 528137
蚌埠玻璃工业设计研究院 安徽 蚌埠 233010
摘 要:文章简要介绍了ITO薄膜的特性和应用,重点对 ITO靶材的成形方法和烧结方法以
及研 究现状进行 了阐述 ,探讨 了ITO靶材制备的发展趋势。
关键词 :ITO靶材 ;制备 ;成形;烧结
PreparationandDevelopmentTrendofIT0 Target
Xiang Guang WangYoule
GuangdongTriumphPhotovohaieTechnologyResearchInstituteCo.,Ltd Foshan Guangdong 528137
BengbuDesign ResearchInstituteforGlassIndustry Bengbu Anhui 233010
Abstract:Thispaperintroducestheperformance applicationofITO film briefly,describesITO targetfornfingand
sinteringmethodsandresearchstatus,anddiscussesitsdevelopmenttrendofpreparation.
Keywords:ITO target;Preparation;Forming;Sintering
佳成份配比为 9:1(质量 比),在溅射靶的生产过程
1前言 中不能使用助烧剂,甚至粘结剂也尽可能不使用。
ITO溅射靶的理论密度为 7.15g/cm ,优质的成品
透明导电薄膜的种类很多,主要有 ITO、FTO、 ITO溅射靶应具有 ≥99.5%的相对密度 ,这样的靶
AZO等,其 中以掺杂 SnO 的InO,(ITO)膜性能最 材才具有较低电阻率、较高导热率及较高的机械强
佳,ITO透明导电薄膜不仅具有优 良的导电性,而且 度。高密度靶可以在温度较低的玻璃基片上溅射,
还具有优 良的光学和力学性能,对可见光的透过率 获得较低 电阻率和较高透光率的导电薄膜,甚至可
高达 95%以上,对紫外线的吸收率 ≥85%,对红外 以在有机材料上溅射 ITO导电薄膜 。
线的反射率≥80%,对微波的衰减率≥85%。同时, 溅射镀膜使用靶材的性能好坏对镀膜的品质有
ITO薄膜的加工性能极好,膜层硬度高且耐磨耐蚀 , 很大影响,要获得高性能靶材与ITO成形工艺和烧
而且容易在酸液中蚀刻出微细的图形,因而 ITO薄 结工艺有着重要的关系。
膜近年来在薄膜 晶体管 (TFT)、平板液 晶显示
(LCD)、有机电致发光显示器件、太阳能电池和电磁 3 ITO靶材的成形工艺
屏蔽等领域获得广泛的应用 。
沉积 ITO薄膜的方法很多,磁控溅射技术因其 不同的成形工艺对 ITO粉末粒径和成形压力以
良好的可操控性、高的沉降率,是 目前发展最成熟的 及烧结温度要求各不相 同,各工艺参数的变化对 I
技术,已在工业上得到了广泛的应用。要获得高质 TO靶材密度的影响也各不相同,因此选择合适的成
量的ITO薄膜 ,制备高密度、高纯度和高均匀性的 形工艺对制得高致密高性能的ITO靶材有重要意
ITO靶材是关键 。 义。 目前,ITO靶材的成形工艺主要有压制
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