用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测.pdfVIP

．第35卷，增刊 红外与激光工程 2006年lO月 V01．35 InfraredandLaser 0ct．2006 Supplement Engineering 用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测 陈伟L2，姚汉民1，伍凡1，朋汉林1，吴时彬1 摘要：光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运行的关键．波前功率谱密度 在总结现有功率谱密度指标基础上，提出由于圆形口径的旋转对称性，可以采用径向波前功率谱密度来表征 圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法，并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的 波前功率谱密度时相应的数值计算方法． 关键词：功率谱密度； 光学检测； 空间频率 中图分类号：TN247文献标识码：A 文章编号：1007—2276(2006)增B一0097．04 Power measurementforcircular spectraldensity CHEN Weil．一，YAOHart．minl，WUFanl，PENGHan．1inl。WUShi．binl (1．InstituteofOptics 2．Graduateofthe of 100039，China) School Chille∞AcademySciences，Beijing Abstract：Asthe of thesafeandnormal ofthewhole is totest keysupplying running optical system，itimportant and the of evaluate wavefront the qualityopticalcomponents．The powerspectraldensity(PSD)callgive spatial distributionofwavefrontaberrationand the on the frequency specifyopticalcomponents．Basedsummarizing PSD dimensionradialPSDbe usedfor thecharacterofthe existingspecification，one specification spatialfrequency distributionofwavefrontaberrationaboutthecircular surfacesisadvanced．itscalculationaboutPSDin optical circular surfacewithcoordinatemeasure testing optical machineale inthisarticle． explored words：Power