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结合旋祷分析板及Calcite棱镜的角度干涉俄 徐律傈’、林世骢¨ ’固立台北科技大学光鼋工程系研究生 ¨园立台北科技大孥光雹工程系教授 摘要 本文提出一套结合旋蒋分析板及calcite棱镜来量测微小角度燮化的干涉 饿，它俱非等光程共路径干涉俄高重敏度，高稳定度之特黠。光晕架设是角度燮 化造成通遏Calcite棱镜之干涉光虚生相位燮化，孩干涉光舆另一参考干涉光通 遏旋蒋分析板後，相位燮化被锁相放大器侦测出来，璩此可反推角度燮化量。赏 验上，本文所提干涉俄先舆HP5529A雷射量测系统做量测比较，接著用它来量测 位移平台之扭勤(Pitch)舆搋勤(Yaw)，赏验结果验镫了它的正罐性和可行性。 阴键字：角度量测、旋鞲分析板、Calcite棱镜、干涉俄 前言 角度量测干涉俄[1-4]俱有高霞敏度之特黠，但舄了得到高率难度、屋抑低 频雅瓤干攫、及方便相位判葫，高精度光学元件及蔓频光源成为角度干涉俄之必 要彀计[4]，追使得光学架彀繁馥且设借昂贵·所以Huang等人提出一程方法， 藉由全反射酶界角附近的反射率燮化来量测出徽小角度[5-6]，改善盛绩遏大的 同题，但由於它是量测光强度，因此必需在暗室裎操作；逶有使用的光学元件如 分光镜、棱镜等，各界面的反射光合影警量测精罐度。所以後朱又提出使用外差 光源来量测相位燮化的方法[7-12]取代量测光豫燮化，不遏架耩反而趋向馥稚而 且霪敏度也不高。 基於上述原因，本文所提出一套量测微小角度燮化之干涉饿，非等光程共路 径的架彀使干涉俄具有高重敏、高稳定度的特黠，且以旋鞲分析板取代傅统外差 光源的架耩，使架设相耆简罩，赏验架耩及量测结果将在本文中做详细的说明舆 讨擒。 原理 固一岛完整赏验架耩，干涉俄的部分是使用缘偏振雷射，雷射光首先经遏 1／2波板，将其调制鸯45。缘偏桎光，再短分光镜将雷射光一分药二，一束缝由 Corner Cube平移反射至45。的1／4波板及旋蒋分析板虚生迥期性参考钒虢I，；第 二束光则正向入射於在旋转平台上的Calcite棱镜，被反射镜反射後，再缝由分 光镜迨入45。的1／4波板及旋鞲分析板，虚生迥期性量测言凡虢I．，雨瓠虢再由 Detector所接收，可表示弱[12] I，=Io【1+cos(4zfi)】 (1) 及 ‘ Im=Io[1+cos(4nfi+4)】 。， (2) 其中I。鹚入射光豫度，f裔偏桎板的旋祷频率，而 h，-。 (3) 矽一4．z ^ 此阴像之来源可参考固二之祝明。如国二(a)所示，其中h岛0光舆e光剪切距 雄，口舄角度燮化量，耆Calcite随著旋蒋平台旋转後，0光舆e光的光程差畲 多了固--(b)中的口6，它可表示岛 ab=ac·tan／／=h·mnp， (4) 耆∥很小畴，tanp兰∥，再h口．i-光路来回走了雨次，所以相位差可表示岛(3)式。 上述貌明可得知，耆≯量测出来後即可反推口角度燮化量。又本干涉儇短 Calcite剪切的0光舆e光畿乎走相同的路径，故有高稳定度的特黠：而耆 CalCite被旋鞲後，e光多走了矽一4．zh，-的相位，故也有高霆敏度的特黠；然後 几 透遇旋鞲分析板虚生迥期性干涉言凡豌，故干涉俄架设简单容易。 赏验舆结果 0光舆e光距雄h=980／zm。参考(3)武，我们可看出，本干涉俄之复敏度高逮 石 4” A p 约l9540度。在第一部分的量测中，使用的是正鞲舆反蒋旋蒋平台，平台每改燮 O．005。纪缘一箪由锁相放大器量得的相位，所獾得相位代入(3)式反推角度燮化 量∥，结果舆HP5529A雷射量测系统得到的角度燮化量做比较，如固三所示，曲 练相曹一致，也验橙了本干涉俄的正罐性。此畸的架设也拿来测斌干涉俄的稳定 度，在旋蒋平台静止的情况下，每十分锺量一肇相位，以此及公式(3)计算旋蒋 角如固四所示。