轻敲模式DFM(动态力模式)表面成像操作步骤.docVIP

编码：0903 - AHD - 004 / 9911 目录 本指南的内容是在SPI 3800 N Probe Station + SPA 400 unit 的系统中，进行DFM测定时的基本操作。按从启动系统到结束系统的顺序叙述如下。 启动系统 安装Scanner、试样、cantilever 调整激光光轴 测定Q曲线 approach测定范围 测定image 保存已测定的image 结束 1．启动系统(详见SPI3800N基本操作说明1) 开启电源，启动计算机系统。计算机操作系统启动完成后，请连击两下计算机屏幕上的“Selector”图标。测定程序选择功能SPI Select启动，弹出如下“SPI 3800 N程序选择”对话框。 SPI 3800 N程序选择”对话框 （5）请选择“SPA 300/400”组的“DFM”，点击“OK”。读取DFM用的测定程序，主程序SPI Win启动。 SPI Win启动，弹出下面的窗口[称为主画面（main frame）]。 SPI Win的主画面（main frame） 2．安装Scanner、试样、cantilever(详见SPI3800N基本操作说明2) 3．调 整 激 光 光 轴(详见SPI3800N基本操作说明3) 4．Q Curve测量(详见SPI3800N基本操作说明4) 5．Approach测定范围 （1） [Laser Position]对话框打开着的话，请关闭。 若[Laser Position]对话框开着，[Scan Console]对话框、[approach]对话框均打不开。 （2）请选择[Scan]菜单的[image]指令。[Scan Console]对话框和[approach]对话框打开。 （3）用[Scan Console]对话框设定参数。靠近[approach]时，若是DFM方式设定以下4个gain值就足够了。 ·I gain ·P gain ·A gain ·S gain [Scan Console]对话框（摘要） 设定靠近(approach)时的参数，请注意以下几点。 Amp. Ref. 在步骤（5）中可自动设定，所以在此可设定任意值。 I gain 大致为0.3左右（不小于0.1）。若值过小，靠近（approach）有时不能正常结束。若数值过大，有时又会出现振荡。 P gain 大致不大于I gain的1/2。若数值过大，有时会出现振荡。 A gain/S gain approach时，一般为0。 （4）必要时，请打开[Sub Console]对话框，确认与形状像相应的filter值。 与形状像相应的filter值影响靠近（approach）动作。请经常确认。 （5）将probe、试样靠近到测定范围(force area)。请点击[approach]对话框的[Move In]的[Auto]。进入测定范围，动作就自动停止，自动搜索（search）、设定适于测定的振幅衰减率后，经[Auto Zero]动作结束。 [approach]对话框（靠近“到测定范围”指令）(Move In“Area”) 1.自动设定的振幅衰减率为“大概值”。为此，有时要根据试样的状态进行微调，否则会测定不准。 容易损坏的软试样时： 有可能使试样受损或不能进行测定。 凹凸大（数百nm以上）的试样时： 有时不能充分跟踪凹凸，致使测定不准。 另外，当用自动设定值有问题时，请用[Move In][Area]靠近[Approach]，用手动设定振幅衰减量。 2.ADD电压值（进入photo detector的总光量的电压）过小（2V以下），approach不动作，结束指令。请在用unit的盘面仪表确认了ADD电压足够大后，再操作。 3.在给scanner的z轴加电压从0V开始加大的情况下，想实行自动零时，请务必点击[Move In][Area]。 在进入了测定范围的状态下，点击[Auto]就会重新设定振幅衰减率。请特别注意不要设定错。 4.若试样带电，有时就不能准确靠近（approach）。此时，请用静电blower除去静电后再装入试样。  5.紧急情况下，停止动作时，请点击运行中显示的窗口（左下图）或按鼠标右键弹出的窗口（右下图）的“中止”。 完成上上述操作后，进入image的测定。 6测定image 参数的设定 （1）设定[Scan Console]对话框的参数。下图黄色框内为主要参数。 [Scan Console]对