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机电创新工程论文—— 微机器人的研究与发展 学院名称： 机械工程学院 专业班级： 机械电子工程0802班 学 号： 3070304040 学生姓名： 李伟 教师姓名： 谢方伟 教师职称： 讲 师 2011年 10月 微机器人的研究与发展 1 前言 微型机器人出现是和微机电系统的发展是分不开的，可以说，微型机器人就是可编程通用的微型机电系统工程。微机电系统的20世纪80年代后期随着大规模和超大规模集成电路的迅速发展，微电子技术与机械、光学等领域的成功结合而诞生的，是微电子技术的拓宽和延伸，它将电子技术遭到精密机械加工技术相融全，实现了微电子与机械融为一体的系统。 和微机电系统一样，微型机器人的发展是和微驱动器的发展也分不开的，轰动世界的突破性的成就是1987年美国加州大学伯克利分校首先研制出了转子直径为60~120um的微型静电动机，随后MIT也研制出了100um的静电动机。 正是微机电系统和微驱动器的出现和发展为微型机器人的出现作了铺垫，使得微型机器人应运而生。 2 微机器人介绍 微型机构的研究首先是美国斯坦福大学于1970年开始的。之后, 美国、欧洲等特别盛行,它涉及到许多学科, 自动控制、微电子、应用物理、精密机械气医用工程。世界各地每年都召开有关的学术会议, 跨国电气工程师学会IEEE建立了一个微机械电子学产品工厂。在美国国家科学财团(NST)的支持下, 于1988年支援8所大学100万美元作为研究的起动费,1989年又将这个费用增加了一倍。美国斯坦福大学已研制出直径20um长150um的铰链连杆,210x100um的滑块机构、转子直径200um的静电马达、每分钟为20ml的液压泵等。与此同时, 美国国家标准科学基金会向美国加州大学伯克利分校传感器与驱动器中心的实验室BSAC提供经费, 美国国防部和十几家公司也向它提供资助,BSAC耗资1500万美元建成12000平方英尺玻璃墙壁的无尘室, 用于研制微机械器件。现在, 他们已研制出一台只有红血球大小的电机以及直径为50um的旋转关节, 齿轮驱动的滑块和灵敏的弹簧。美国贝尔实验室已开发出一种直径仅为400微米的齿轮。在加利福尼亚大学的传感器和传动机构实验室已研制出一些小到能在一张普通邮票上容放6万件的齿轮和其它装置。美国麻省理工学院人工智能实验室正在研制一种“ 蚊子机器人” , 用于收集情报和窃听。美国Dwkane公司小型机器人分部设计了一种AL5010小型机器人系统。这台装配机器人能够完成单位模光导纤维引线的复杂任务, 这种工作以往都要求有经验的人去做, 而且经常造成器件不得不返修或报废的情况。该系统不仅取代了手工操作, 而且降低了返修率, 缩短了生产周期。在该系统中采用压电驱动微调装置, 通过调整该微调装置, 使光纤和器件之间达到最佳藕合功率位置, 实现其粘接过程始终校准, 并自动补偿这一过程引起的任何误差。 日本Nagoya大学制作出不需电缆的管道微型机器移动机器人, 它可以由管道外的电磁场线圈磁场来控制其运动。微型移动机器人跟随管外磁力线移动, 它可能用于小尺寸管道检测, 生物医学领域和在人体等小空间内作微型工作。一般来说在生物技术、医学领域和企业设备检测中微型物体微型操作都是靠人类操作者高明技巧来实现的, 而现在代替操作的微型管道机器冰制作出来了。他们制作较大型的可逆运动机器模型直径为21mm , 而另一种微型式单向运动模型直径为6mm。 日本早稻田大学机械系用磁控管测射和热处理方法作成的薄层可逆TiNi合金制成了微型机器人。可逆形状记忆合金(RSMA)为一种双向、全圆活动的SMA, 非常适合于制作微型SMA作动器。制作时, 只需要一种SMA材料, 每个自由度只需要一种RSMA材料, 每个自由度只要一小片RSMA主动弯曲架(ABF), 其原始形状按经验和理论分析。基于其理论计算推导出ABF齐次变换矩阵, 制作出一个具有两个ABF和一个捕捉器的三自由度Scara机器人, 10微米厚薄层可逆TiNi合金的频响约为5赫兹。 日本筑波大学, 名古屋大学、东京大学, 早稻田大学及富士通研究所等单位十年前就开始研究各种无间隙直接驱动机构和控制?? 手段是主要采用压电元件, 驱动机构形式有直线型, 旋转型, 目标是制成用于细胞解剖,IC的生产, 精密装配, 并考虑进入人体内的微型机器人和微型机构, 驱动精度进入um级以上。据报导:日本已投资100亿日元从事微型机器人的开发, 并已开发出多种压电陶瓷驱动微型机构. 1987年德国卡尔