层析扫描声学显微镜的研究.pdfVIP

第 28 卷第 9 期 2007 年 9 月 仪器仪表学报 Chinese Joumal of Scientific Instrument Vol. 28 No.9 Sep. 2∞7 层析扫描声学显微镜的研究* 杨立峰，王亚非，用 鹰，高椿明，王占平 (电子科技大学光电信息学院成都 61∞54 ) 摘 要:为了获得被测样品二三维信息网时具有较离的分辨率，在电子科技大学光电商学信息处理研究中心研制成功的激光扫 描声学显微镜的基础上，通过检测电路、数据获取等方回进行的硬件改进以及相应的算法研究，在得了合理有效的重建数据，将 非线性衍射层析成像算法寻|入到改进后的 SLAM 系统中，得到了居析扫描声学报橄镜的样机，并且在实验上获得了清晰的集成 电路样品的王维层析阁像。 关键词:撒光扫描声学显做镜;应析成像;正交解调器;超声披; 中图分类号: TB.5 文献标识码:A 固家标准学科分类代码: 140.20 Research on scanning tomographic acoustic microscope Yang Lifeng , Wang Yafei , Zhou Yi吨， Gao Chunmi吨， Wang Zhanping ( College 01 Opto-electrical Ii呐rmω阳， University 01 Electronic Science αnd Technology 01 China , Chengdu 61ω154 ， China) Abstract: In order to obtain unambiguous 3 D images of individual depth planes (tomograms) within a specimen , based on the scanning laser acoustic microscope (SLAM) that was developed by UESTC , We improved the corre- sponding hardware in the measurement circuit , data acquisition of SLAM , and etc; and introduced non协lear mverse tomographic algorithm into the improved SLAM. A scanning tomographic acoustic microscope (STAM) prototype was developed. The superior resolution 3D tomography of IC sample was obtained by the STAM experimentally. Key words: scanning laser Acoustic microscope (SLAM); tomography; quadrature detector; ultrasonic wave; re- build algorithm 1 号| 牛 一 日 激光扫描声学跟橄镜( SLAM) 作为一种新型高分辨 率的元损检测仪器旧其具有实时成像的优点，已经被美 国、德国、俄罗斯、日本、意大利等国家广泛应用于航空航 天、电子、生物医学、冶金、材料科学以及核工业(叫。 早 在 1997 年，电子科技大学光电声学信息处理研究中心研 制成功国内第一台 SLAM 系统阳。并且利用 SLAM 对多 层陶瓷、集成电路[6.7J 以及生物细胞进行了研究。同时， 对声波在多层媒介中的传播规律[8J 以及 SLAM 系统的信 号处理误差川等做了进一步的研究，取得了可喜的成果。 上述的研究都悬基于工维声学罔像进行的。盟、然要 收稿日期 :2∞7 .IJ2 Received Dale:2007 .IJ2 *基金项目:因家肉然科学丢在金(50506朋6) 资助项目 问信息。为了得到研究样品的王维声学罔 像，在 SLAM 系统的基础上，在检测电路和投影方式进行 了必要的改进[10] ，结合层析成像算法来实现 STAM 系统[ 11-12J 。 2 SLAM?荣耀 图 1 是 SLAM 的结构图。一个由计算机控制的压电换 能器产生高频超声平而波，该声植透射样品时受到样品内部 结构的调制，声波传播到样品表酣处，会引起表面处弹性工 作而板的微小形变。用一束聚焦的激光扫描工作面板表面 的光栅图案，激光束以不同的角度反射(角度是波纹的函数) 到一个刀口探测器，刀口探测器把激光束的角度调制信号转 1606 仪器仪表学报 第 28 番 朗 l 激光扫描声学踉微镜(SLAM)结构阁 Fig. 1 Th