激光声表面波的若干应用研究进展.pdfVIP

第 36 卷，增刊 Vol.36 Supplement 红外与激光工程 Infrared and Laser Engineering 2ω7 年 6 月 Jun.2007 激光声表面波的若干应用研究避展 沈中华， ?一飞，严刚，在玲，陆建，优晓武 (南京理工大学理学院，江苏 南京 21侃94) 摘离s 卢表面波在其侍播过程中能量主要集中在波长量级的表层内，因此，主要受固体农层性质 影响。而激光激发的卢森面波在具有声表面波的一般特点的同时义具有激光超声的非接触、宽带、 空间分辨率高等优点，因此可将其应用于表面残命应力检测，薄膜弹性性质农征及表面和亚表面缺 陷检测等方面。文章简要地对激光A卢表面波在这些方面应用的原理及其研究进展情况作一介绍. 关键诩z 激允卢农曲波; 残余应力; 薄膜弹性性质; 缺陷 中四分费号: TB57 戈撇标识码:A 丈晴编号I l007~2276(2ω7)增(激光)-0239-06 Progresses in the applications of laser induced surface acoustic waves SHEN Zhong-hua. SHI Yi-fei, Y AN Gang, YUAN Ling, LU Jian, NI Xiao-wu (Faculty of Science, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, Cbian) Abstract: 币le energy of the surface acoustic waves (SAWs) concentrates on the surface in the depth of wavelength during its propagation. Laser induced (SAWs) is developed quickly recently because of its advantages of non-contact operation , broad bandwídth, high spatial resolution and so on besides the general characters of SAWs. The principles and progresses in some applícations of laser induced surface acoustic waves aJ珍 introduced briefly in this paper. including detecting residual stress, characterizing the elastic properties of films and detecting of surface and subsurface defects. Key words: Laser induced surface acoustic waves; Residual 刷刷s; 四嗣tic properties of f11m; Defects 。曾l 窗 近些年来，激光成为激发和探测超声的有力工 具。利用激光束与被检测物体表面相互作用，通过热 弹或融蚀机制在材料中产生宽频戚窄带的超声波，比 传统超声具有更高的空间分拂率，且具有非接触、可 远距离探测等许多优点，尤其适合于…些恶劣环境场 合，适合在高温、具有腐蚀性、辐射性以及被检件具 有较快的运动速度等恶劣环境下使用。另外，激励光 束与被检测物体表面无需保持严格的垂直等固定的 ? 捎回跚I 2∞7批21 角度关系，亦不需要复杂的扫查机构，因此，激光超 声不仅适用于弯曲和粗糙表面。而且特别容易实现快 速自动化扫描检测，这一技术既具有超声检测定量定 性准确、又具有非接触的特点。因此，它更有利于材 料的无损评估和其他学科的应用，像材料表征，缺陷 检测，加工过程监测，以及复杂形貌的工件或高植商 肥等恶劣环境下设备的监测等。在 20 世纪 90 年代形 成的激光超声学，近年来巳发展成超声学中的重要分 支，并在激光起芦信号的激发与接收、传播以及应用 等方面取得很大进展[11 ? a禽项胃，国家自然科学基金资助项目 (60208∞4); 南京正理工大学青年学翁基金资助项目 (Nju础∞503) 作省简介，沈中华(1973寸，女，江苏吴江人，教授，主要从事激光超声、激光与物质相互作用机理及其测试技术方向的研究工作. Email: shenzh@mail.njust.创U.CD 240 红外与激光工程:先进激克技术或展与应用 第 36 眷 脉冲激光辐照在团体样品上可以同时激发出多 种声波模式，当固体