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微机电的发展及其应用 【组员】：吴圣英，蔡茂，甘清华，黄煜程，张锦，孙章权 【摘要】：微机电系统是在微机电技术基础上生产和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是面向21世纪的高新科技，介绍了微机电系统产的组成特征和基础研究内容，综诉了微机电系统基础所涉及的材料、微细加工程度以及微封装与测试等领域，并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析，在此基础上，论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势。 一．了解认识MEMS的概况： MEMS是微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统。它是指可批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前，MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS发展的目标在于通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。 微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、化学、光学、医学、电子工程、材料工程、机械工程、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术。微机电系统的制造工艺主要有集成电路工艺、微米/纳米制造工艺、小机械工艺和其他特种加工工种。微机电系统在国民经济和军事系统方面将有着广泛的应用前景。主要民用领域是医学、电子和航空航天系统。美国已研制成功用于汽车防撞和节油的微机电系统加速度表和传感器，可提高汽车的安全性节油10%。仅此一项美国国防部系统每年就可节约几十亿美元的汽油费。微机电系统在航空航天系统的应用可大大节省费用，提高系统的灵活性并将导致航空航天系统的变革。例如：一种微型惯性测量装置的样机，尺度为2厘米×2厘米×0.5厘米，重5克。在军事应用方面，美国国防部高级研究计划局正在进行把微机电系统应用于个人导航用的小型惯性测量装置、大容量数据存储器件、小型分析仪器、医用传感器、光纤网络开关、环境与安全监测用的分布式无人值守传感等方面的研究。该局已演示以微机电系统为基础制造的加速度表，它能承受火炮发射时产生的近10.5个重力加速度的冲击力，可以为非制导弹药提供一种经济的制导系统。设想中的微机电系统的军事应用还有化学战剂报警器、敌我识别装置、灵巧蒙皮、分布式战场传感器网络等。 二．MEMS的基本特点： （1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 （2）以硅为主要材料：机械电器性能优良，硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。 （3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。 （4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。 （5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 三．部分MEMS重要应用： （1）IT/消费电子领域： 众多机构都看好未来MEMS在IT/消费电子领域的应用，这一领域也是MEMS未来最大的市场。的确Wii和iPhone的热销使得电子产品终端厂商不得不提高对MEMS的重视，加快了MEMS的普及。MEMS赋予电子产品独特的人机交互体验，使得电子产品更娱乐化、智能化。伴随着MEMS技术的不断成熟以及应用领域的不断拓展，MEMS产品将广泛地应用于喷墨打印头、投影仪、笔记本等计算机类产品，手机等通讯产品以及MP3、MP4、游戏机、麦克风等消费电子产品中。 （2）汽车工业： 汽车工业是微机电系统的主要应用市场之一，规模较大。MEMS可以使汽车更安全，使驾驶更舒适，并可提高燃烧效率和降低排放。1993年，美国ADI公司采用MEMS技术成功将微型加速度计商品化，并大批量应