光电检测技术(研)-天津大学研究生e-Learning平台.ppt

§1. 2 光电检测技术发展现状 光电检测技术不仅是现代检测技术的重要组成部分，而且随着发展其重要性越来越明显。主要原因是光电检测技术的特点完全适应近代检测技术发展的方向和需要。 其依据是： 1、近代检测技术要求向非接触化方向发展，这就可以在不改变被测物性质的条件下进行检测。而光电检测的最大优点是非接触测量。使静态测量发展成为动态测量。 2、现代检测技术要求获得尽可能多的信息量。而光电检测中的光电成像型检测系统，恰能提供待测对象信息含量最多的图象信息。从逐点测量发展成为全场测量。 3、现代检测技术所用电子元件及电路向集成化发展，检测技术向自动化发展；检测结果向数字化发展；检测系统向“智能”化发展。所有这些发展方向也正是光电检测技术的发展方向。 4、光电检测技术的应用面不断扩大，使其能检测更多的被测对象，这就要求光电传感器的品种不断增多，同时要求检测光信号的获得方式不断增加。 5、光电检测技术的另一个重要发展方面是微机、嵌入式系统的应用，这不仅极大地提高检测效率，也使十分复杂的计算、修正和控制关系变得轻而易举。 总之，光电检测技术的发展离不开现代科技的发展，而光电检测技术的发展必将近一步促进现代科技的发展。 光电检测系统可与人的操作功能相比较，其对应关系如图1-3所示。 图1-3 功能比较 人 脑 微 机 感觉器官 手 控 被测物 被测物 光电传感 执行机构 实际上从主观光学发展到客观光学，也就是用光电探测器来取代人眼这个主观探测器，提高了测试精度与测试效率。 §1.3 方法的选择 面对一个测试任务，首先碰到的问题是如何合理而可靠地选择一种好的测试原理。对没有经验，特别是初学光学测试技术而又想较快了解能否有方法来解决手头上的测试任务的读者来说，本节的内容是重要的。 合理选择光学测试方法的原则是根据五点： 1〕测定对象； 2〕测定范围； 3〕灵敏度或精度； 4〕经济性； 5〕测试环境。 表0－4是根据测定对象和测定范围来初步选择测试方法的参考表。 表0-4 由测定对象和测定范围来选择的测试方法 表0－5 测试方法的相对经济性和环境要求 选择测试方法的另一主要原则是测量灵敏度和要求的精度。图0－3是主要光学测试方法在尺寸上能达到的灵敏度（分辨率）。而精度一般来说是测试分辨率的1～3倍，其中中等精度以下时，精度大致与分辨率相当，高精度方法的精度大致为分辨率的2～3倍。 选择测试方法的最后依据是经济性环境条件。表0－5大致列出主要测试方法的经济性和对环境的要求。 以上选择的原则仅供参考，测试方法的最后选定还应由具体设计方案而确定。 图0-3 测试方法的尺寸分辨率 10-6(nm) 10-3() 1 mm 干涉法 共焦扫描法 隧道显微法 原子力显微法 衍射法 全息法 干涉法 投影三角法 莫尔及拓扑法 光扫描法 散斑条纹法 飞点时间法 相位测量 （大测量范围） §1.4 技术发展的方向 随着90年代的结束和新世纪的开始，科学技术必然是高新技术的日新月异和工业生产的精密化、自动化和智能化，这就对光学测试技术提出新的要求，促使光电检测技术的近代发展走向如下几个方向： （1）亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展； （2）快速发展小型的、微型的非接触式光学传感器； （3）半导体激光器（LD）及其阵列，光开关，光滤波器，光电探测阵列等新器件将在过程控制，在线测量与控制上得到广泛应用； （4）微光学这类微结构系统将崭露头角； §1.4 技术发展的方向 光电检测技术的近代发展走向如下几个方向： （5）快速、高效的3－D（三维）测量技术将取得突破； （6）发展带存贮功能的全场动态光电检测仪器； （7）发展闭环式光学测试技术，实现光学测量与光学控制的一体化； （8）以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向； （9）发展光学诊断和光学无损检测技术； （10）发展光电传感网络。 综上所述，随着科学技术和经济的发展，首先要求光电检测技术要有快速的新发展，这就是发展光学纳米技术，光学层析技术，光学超分辨技术，光学超像元技术