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文章编号:
1000 5463
(
2001
)
03 0089 04
偏振共焦扫描显微镜的研制及其成像研究!
裴红津1,梁瑞生1,唐志列1,刘金龙1,谢 凤2,黄文芳2
(
1 .
华南师范大学物理学系,广东广州
510631
;
2 .
华南师范大学生物学系,广东广州
510631
)
摘要:根据偏振共焦扫描显微镜的原理,成功研制了一台偏振共焦扫描显微镜
.
用该偏振共焦扫描
显微镜对各种集成电路芯片、生物组织等物体进行透射式成像或反射式成像研究,并分析成像结果
.
实验表明:该偏振共焦扫描显微镜能够对各种物体进行成像,具有成像方式多样,可逐层扫描,非线
性成像等特点
.
关键词:偏振;扫描;共焦显微镜;成像
中图分类号:
TH742.64
文献标识码:
A
共焦扫描显微镜一提出,就受到人们的关注
.
近
15
年来,其理论研究和应用研究都取得很
大进展[1 - 3]
.
共焦显微镜与普通光学显微镜相比具有极其明显的优点[4 - 5]:能对物体的不同
层面进行逐层扫描,从而获得大量的物体断层图象,可以利用计算机进行图象处理;具有较高
的横向分辨率和纵向分辨率;对于透明和半透明物体,可以得到其内部的结构图象;比较容易
实现高倍率
.
国内研究多集中在理论方面和计算机模拟,如讨论共焦显微镜的纵向分辨率极
限[6],荧光共焦扫描系统成像特性的优化[7],高斯光束共焦扫描显微镜的光学传递函数[8]等
等
.
近几年,国内已有几所大学和科研机构利用进口仪器对上述方面进行实验研究,取得较好
成果
.
但如何自己研制共焦扫描显微镜,则报道不多
.
我们设计出实用的偏振共焦扫描显微镜
光路图,在此基础上,成功研制了一套仪器
.
用这套仪器对物体能进行透射式成像或反射式成
像,本文给出一些物体的成像图片,分析了成像结果,并提出了在实验过程中要注意的问题
.
1
偏振共焦扫描显微镜的原理
偏振共焦扫描显微镜技术是集光学、机电、控制、计算机及光学图象技术于一体的高新技
术
.
图一为实际设计中使用的光路图
.
共焦扫描显微镜是利用物镜使光束聚焦形成的小光点
对样品逐点成像
.
共焦显微镜采用共轭焦点技术,使光源,被照物点和探测器处在彼此对应的
共轭位置,光源经物镜在样品表面锐聚焦成衍射限制的斑点,其反射光或透射光再次通过物镜
或聚光镜在空间滤波器的共焦针孔平面成像
.
在共焦显微镜的光路中加入偏振装置,使入射到
物体表面的光是偏振光,加上适当的检偏装置,可以获得不同偏振态的反射光和入射光,可以
提高共焦显微镜的灵敏度和使用范围
.
收稿日期:
2000 11 17
基金项目:广东省自然科学基金项目(
980046
);广东省科委“九五”重点攻关项目资助课题
作者简介:裴红津(
1976
),男(汉族),湖北宜昌人,
1999
级光学专业硕士研究生
.
2001
年
8
月
Aug.2001
华南师范大学学报(自然科学版)
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY
(
NATURAL SCIENCE EDITION
)
2001
年第
3
期
NO.3
,
2001
!偏振共焦扫描显微镜的实验装置
对不同的成像物体,分别采用两种不同的光路组态:反射式光路和透射式光路
.
如图
l
所
示,用外腔式
He - Ne
激光器得到线偏振光,经扩束镜改善光束质量
.
在反射式光路中,光经过
反射镜
l
,
2
再进入格兰棱镜,选择合适的角度,光大部分反射后通过
l / 4
波片
P
,最后经物镜
Ll
聚焦照射在物体的某一点上
.
由样品反射或散射的光被
Ll
(聚光)收集再进入格兰
棱镜,只有包含物体信息的光子可以通过格兰
棱镜,再由物镜
L2
聚焦,经过针孔进入到光电
倍增管的入射口上
.
光前后两次经过
l / 4
波
片,调整波片就可以改变光的偏振态
.
在透射
式光路中,拿掉反射镜
l
,光经反射镜
3
,物镜
L3
聚焦照射到物点上,物体的透射光被
Ll
收
集,经偏振片
P
后进入格兰棱镜
.
通过调整偏
振片可以改变光的偏振态
.
在两种组态中,光
信号被转化成电信号,再经过模数转化(
A /
D
),由计算机进行数据采集和图象重建
.
我们
采用移动载物平台进行扫描的方式,由两台步
进电机控制扫描平台,调节水平二维方向;手
动调节竖直一维方向
.
电机和数据采集统一用
一
A / D
卡实现
.
采集到的数据可以在计算机
的屏幕上以图像的形式显示出来,并可以把图
像转化成位图格式以便使用各种图像处理软
件
.
这可以通过程序设计实现
.
图
l
制作偏振共焦扫描显微镜的光路图
偏振共焦扫描显微镜的实验
结果分析
我们利用自制的偏振共焦扫描显微镜
对各种物体进行成像研究
.
图
2
是获得的集
成
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