扫描电化学显微镜压电工作台的建模与控制.pdfVIP

第 30卷第 12期 2仪)9年 12 月 仪器仪表学报 Chinese Joumal of Scientific Instrument VoJ.30No.12 Dec.2创)9 扫描电化学显微镜压电工作台的建模与控制* 张栋 1，张玉林 1，李现明 1，魏强 2 (1 山东大学控制科学与工程学院济南 25创61; 2 泰山学院物理与电子工程学院泰安 271021 ) 摘 要:为提高扭描电化学跟微镜 (SECM) 微定位系统的运动定位精度，对其ffi电工作舍的数学模型和控制器设计进行了 研究。介绍了压电工作台的动~;iB.滞模型方辑和采用Prandtl-Ishlinskií (PI)迟滞算子的动态迟滞模理，并在此基础上设计了压 电工作台的复合控制方案。以 CHI9∞B~型扫描电化学显微镜的王维压电工作台为实验对象，对功态也滞模型的具体建榄过 程进行了阐述，并验证了控制器的性能。在 100 V仰和 900 V/s 两种不罔输入电ffi遮率下进行地动黯位实验，动态i总滞模艘 平均误差分别为 0.08 川和 0.1 1 阳，精度明中显优于压电工作台的线性动态模型和 PI 迟滞模型。复合控制方案f. 系统跟 踪土4∞阳内任黯三角披的平均误幸运为 O.佣5 阳，最大误装为 0.105 J.Ull;跟踪复频糠的平均误楚为 0.105 阳，最大误差为 0.1 15 阳L 控制放果校好。 关键词:扫描电化学显微镜1 压电工作台:运动定位; PI 模型 中阳分摸黑TP271 TN3制 TP39 文献标识码:A 剧家标准学科分提代码: 510.8例。 Modeling and control of SECM piezo-stage Zhang Dong l , ZhangYulin l , Li Xianming l , Wei Qiang 2 (1 School of Control Science and Engineering, Shandong University, Jinan 25α剧， Ch阳; 2 Sc.加。lc扩Physics and Electronic Engineering, Tais.阳n Uníversity, Taian 271021, China) Abstract: In order ωimprove the dynamic positioning 阴市cision of scanning el即位。chemis町 miαoscope (SECM), 也.e mathematic modeling and ωntroller design of the piezo幽stage are s阳di叫.咀le dynωnic hysteresis model 叫ua- tion of 伽附加stage is introduωd. 阳时lermore， the dynamic hysωresis model bas创 on Prandtl-lshlinskü (PO hysteresis operat町 is given , and a composite control s位ategy is desi伊创. Experiments 刨出.e piezo-stage of CHI9佣B SECM elabora忧也e buílding prlα:ess of the dy阳nic hsy能resis m创el， and the performance of the ω0- troller is also prov创. Experiments with different input voltage rates (1ωV Is and 900 V Is) indicate 由倒也e mean errors of the dynamic hysteresis mαiel are 0.08 JllD and 0.11 阳n， res严ctively， which are be阳r 由an 也ose of other typical models. 白le tracking experiments with 土:400 阳ws triangle indicate that 伽e mean error and 伽e max 创rorof the compound controller are 0.085 阳n and 0.105 阳n res阱咄咄ly; and the tracking experiments with multiple sinu- soid indicate 伽atthemean 创ror and the max e町or areO.l05 阳n and 0.1 15 阳nres伊:cti