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《半导体光电》2006 年 l2 月第 27 卷第 6 期 向 东 等： 可变形反射镜的研究进展及应用 动态综述 可变形反射镜的研究进展及应用 ， 向 东l 3 ，王青玲2 ，张光勇4 ，吕 涛l ，张小妮l （中国地质大学 1. 数学与物理学院；2. 地球物理与空间信息学院，湖北 武汉 430074； 华中科技大学 3. 光电工程系；4. 激光国家重点实验室，湖北 武汉 430074） 摘 要： 介绍了国内外几种技术比较成熟的可变形反射镜的工作原理，分析了它们的优缺 点。针对作者设计、研制的两种可变形反射镜及相关成果进行了评述。利用自主研发的测试系统， 对可变形反射镜的特性进行了测试，并且预测了可变形反射镜的发展方向。 关键词： 自适应光学；可变形反射镜；波前校正；特性 中图分类号：TN256 文献标识码：A 文章编号：l00l - 5868（2006）06 - 0659 - 05 Recent Progress and Application for Deformable Mirrors ， XIANG Dongl 3 ，WANG Oing-iing2 ，ZHANG Guang-yong4 ，LV Taol ，ZHANG Xiao-nil （1. Institute of Mathematics Physics；2. Institute of Geophysics and Geomatics Information， China University of Geosciences，Wuhan 430074，CHN；3. Department of Opto-electronics Engineering； 4. State Key Laboratory for Applied Laser，Huazhong University of Science Technology，Wuhan 430074，CHN） Abstract： Severai deformabie mirror（s DMs）have been summarized，whose fabrication technoiogy is reiativeiy mature，then its advantage and disadvantage have been anaiyzed. Two types of DMs fabricated by the author have been stated. A new system has been designed to test the characteristics of the DMs， and the deveiopment direction of DMs in the future has been forecasted. Key words： adaptive optics；deformabie mirror；wavefront correction；characterization testing l 引言 可变形反射镜（DM）是自适应光学系统中的核 心部件之一，它担负着校正由内、外因素引入的波前 误差的任务，并补偿由光路中各种因素引起的成像 质量降低的问题，即校正器。图 l 所示是一个典型 的自适应光学结构图。典型的自适应光学系统是使 用波前传感器探测入射光波前畸变，然后通过控制 器向波前校正设备发出控制信号，控制可变形反射 图 l 自适应光学系统结构图 镜镜面的动作，使镜面发生形变。当镜面形状与畸 自 年