扫描电子显微镜SEM培训资料选编.ppt

微纳研究中心超净室系列讲座之2;1. 扫描电镜的优点 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 3. 扫描电镜的工作原理 4. 扫描电镜的构造 5. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 6. 扫描电镜的主要性能 7. 样品制备 8. 应用举例;1. 扫描电镜的优点;Optical Microscope VS SEM;2. 电子束与固体样品作用时产生的信号;2.1 弹性散射和非弹性散射;SEM中的三种主要信号;其他信号;2.3 各种信号的深度和区域大小;3. 扫描电镜的工作原理;4. 扫描电子显微镜的构造;电子光学系统;;电子枪;信号收集及显示系统;真空系统和电源系统;5. 扫描电镜衬度像;二次电子产额δ与二次电子束与试样表面法向夹角有关，δ∝1/cosθ。 因为随着θ角增大，入射电子束作用体积更靠近表面层，作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多；其次随θ角的增加，总轨迹增长，引起价电子电离的机会增多。;（a）陶瓷烧结体的表面图像 （b）多孔硅的剖面图;5.2 背散射电子像;两种图像的对比;对有些既要进行形貌观察又要进行成分分析的样品，将左右两个检测器各自得到的电信号进行电路上的加减处理，便能得到单一信息。 对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的信号，其大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的信号绝对值相同，其极性恰恰相反。 将检测器得到的信号相加，能得到反映样品原子序数的信息；相减能得到形貌信息。 ;背散射电子探头采集的成分像（a）和形貌像（b）;6.1分辨率; 6.2 景深 ;7. 样品制备;;8. 扫描电镜应用实例;1018号钢在不同温度下的断口形貌;ZnO纳米线的二次电子图像 ;（a）芯片导线的表面形貌图 （b）CCD相机的光电二极管剖面图;主要特点 Windows NT界面 独特的二次电子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式) VP可变压力模式分辨率 4.0nm (25kV,可变压力模式) 放大倍数范围 5x~300,000x 加速电压 0.3kV~30Kv 可变压力范围 1~270Pa 最大样品尺寸 150mm直径 图像移动范围 ±20μm(WD=15mm) 样品台(选项) 电子枪： U型钨丝 枪偏压 可加速电压关联 可变电压(双偏压功能) 检测器 SE检测器 BSE检测器，可变压力模式 SEM操作 鼠标、键盘旋钮控制盘(选件) 扫描???式 TV,慢速(4步),照相(4步 旋钮和鼠标控制都可以用于SEM参数设置。 ;显示器 大屏幕 XGA彩色显示器(1024 x 768像素) 自动调节功能 自动聚焦，自动像散校正 自动亮度和对比度调节 自动灯丝饱和度调节 数字图像储存 640 x 480像素 图像格式 BMP 图像数据条显示 : 加速电压，放大倍数， 微米标尺,WD(工作距离), 照片放大倍数 ,真空度水平,检测器,日期,文件号等 真空系统 : 全自动，DP 570L/Sec， RP 160L/min x 2 (S-3000N) RP 160L/min x 1 (S-3000H) 系统保护 断电、失真空和缺水保护 ;谢谢！