研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响.pdfVIP

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2017-04-25 发布于北京
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研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响.pdf

人工 43????5?? 晶体学报 ??．? ?＃? ??Q!????!?? !Q??????????Q????!??!????????????!??!??????!!!??Q!?? 研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响 ??????1????????????1????????1??????1????????1 ．南京航空航天大学机电学院，江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京???；??不展こ檀笱Щ?涤肫?倒こ萄г海?吆???? 摘要：研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究，采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量，运用差动腐蚀 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????w50??w?的游 ????????????????????????????????????????????????48??85??m??7??02??m?????????????????????????????? 面损伤层深度分别为???穖和???穖。固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件。固结磨料研磨方式对于蓝宝石单晶表面研磨质量的改善和亚表面损伤层深度的降低具有显著的效果。关键词：单晶蓝宝石；固结磨料；游离磨料；亚表面损伤层深度；表面粗糙度中图分类号：??；???? ????????????A 文章编号：????????????? ??? ? Lapping Methods ? ????? ??? Depth ? ??? Crystal ???? ?? ??—??，?琙? ??．??，?? ??畇??，? Junl??ZUODun??Wenl ? Precision and (1??JiangsuKey ????? ???狹?????? Technology??College? ????? and ????? Engineering?? Nanjing ????? ? Aeronautics and Astronautics??Nanjing210016??China?? 2??School? ????? and ????? ??????珹?? Polytechnic ?????，?? ???，??? (Received 2 January ??，???? ? Ja