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感应偶合电浆光谱仪与原子吸收光谱仪原理上最大的差异便是.PDF
感應偶合電漿光譜儀原理
感應偶合電漿光譜儀與原子吸收光譜儀原理上最大的差異便是激發源的不
同。原子吸收光譜儀是利用基態( ground state )原子對特定波長之光源作吸收來
達到定量的目的,因此其激發源為火焰且需要以燈管來提供光源作吸收。感應
偶合電漿光譜儀則是以原子放射光量的多寡來達到定量的目的,由於感應偶合
電漿的溫度可以達到 10000 oK 所以樣品於電漿中直接發生原子化及離子化,而
同步將原子及離子的激發光發射出來。因此對於同一元素而言,當樣品中元素
濃度越高,所被激發出來的光強度也越大,所以可以達到定量的目的。由於電
漿中所有元素的光譜試液次被激發出來,所以也需要一優越的光學系統來將這
些激發光作最佳化的解晰,才能達到定量的目的。
電漿的產生是由於 Ar 氣在高能量無線電頻場中發生游離所致,因此儀器的
主要燃燒氣體為 Ar 氣,能量源為一 40 MHz 之無線電頻產生器( RF generator ),
利用無線電頻感應將 Ar 氣游離便能產生感應偶合電漿,如圖 6。
Plasma Ionisation Source
To desolvate, decompose, atomise and ionise fine
sample droplets.
Auxiliary gas
Carrier gas + Sample
Auxiliary gas
Magnetic field
Plasma gas
Wok coil
圖 6、感應偶合電漿及其溫度分布
原子及離子在在電漿中發光,光線進入儀器之光學系統中作適當的解析後
便能利用各元素光強度之變化達到定量之目的,如圖 7。
Echelle Grating
Parabolas
CaF
Torch 2
Prism
Entrance slit Reflective coating
Detector Intermediate Slit
圖 7、感應偶合電漿光譜儀之光學系統與光譜圖
接影響儀器之良窳的因素很多,通常感應偶合電漿光譜儀最需要考量到的
因素如下:
感應偶合電漿光譜儀評估項目表
項目 原因 最佳化條件
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