8电子光学基础说课.ppt

8 电子光学基础 1 2 8 电子光学基础 电子波与电磁透镜 电磁透镜的像差和分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 电子束与固体样品相互作用 3 8 电子光学基础 电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。 4 8 电子光学基础 观察微小物体的历史，是从放大镜开始的，然后进入显微镜时代。当光学显微镜达到了分辨本领的极限时，为了达到满足人们观察微观世界的渴望时，促成了电子显微镜的发明。 光学显微镜的构思是：直接观察物体放大后的像，以代替用放大镜观察物体本身。因此需要有两块透镜组合起来。 最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 5 8 电子光学基础 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 6 8 电子光学基础 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能进一步提高。 7 8 电子光学基础 埃贝等从理论证明：光学显微镜分辨本领界限的决定因素是——光线的波长，因为光学显微镜是利用光线来看物体的，为了要看到物体，物体的尺寸必须大于光的波长，这就是光学显微镜所以会有极限的原因，也称为光的衍射效应的影响，是无法克服的极限，这个极限在200微米左右。 有效放大率=人眼分辨本领值/显微镜分辨本领值 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题！！！ 8 8 电子光学基础 比可见光波长更短的电磁波有： 1）紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 —— 无法使其会聚 ； 3）电子波 根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。电子波 h —— Plank 常数 ， m —— v —— 电子速度 9 8 .1 电子波与电磁透镜 10 8 .1 电子波与电磁透镜 加速电压（kV） 10 20 30 50 60 波长（Å） 0.122 0.0859 0.0698 0.0536 0.0487 加速电压（kV） 70 100 200 500 1000 波长（ Å ） 0.0448 0.0370 0.0251 0.0142 0.0087 电子波长与加速电压的关系（经相对论修正） 11 8 .1 电子波与电磁透镜 电磁透镜 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜 —— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 磁透镜 静电透镜 1. 改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率； 2. 无击穿，供给磁透镜线圈的电压为60到100伏； 3. 象差小。 1. 需改变很高的加速电压才可改变焦距和放大率； 2. 静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿； 3. 象差较大。 目前，应用较多的是磁透镜。 12 8 .1 电子波与电磁透镜 磁透镜结构剖面图 13 8 .1 电子波与电磁透镜 电子的运动轨迹 在磁透镜作用下，电子做圆锥螺旋近轴运动。 14 8 .1 电子波与电磁透镜 磁透镜使电子会聚的原理 15 8 .1 电子波与电磁透镜 电磁透镜物距、像距与焦距及放大倍数的关系 物距：L1 像距：L2 焦距：f 放大倍数：M 16 8 .1 电子波与电磁透镜 透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的一定间隔距离内，可以小到1mm左右。在此小的区域内，场的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式为: E加速电压；S极靴孔径；I通过线圈的电流强度；N线圈每厘米长度上的圈数；F透镜的结构系数 电子显微镜可以提供放大了的象，电子波长又非常短，人们便自然地把电子显微镜视为弥补光学显微镜不足的有利工具。 17 8 .1 电子波与电磁透镜 磁感应强度分布图 18 8 .2 电磁透镜的像差与分辨率 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的象差有几何象差（球差、象散等）和色差。 几何象差 是因为透