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ESD教 育 训 练 教 材电源事业部 工程部; 伴随计算机、通信、集成电路的发展,静电危害问题日趋显著。
如CMOS器件绝缘层的典型厚度0.1um,其相应耐击穿电压为80-100V,VMOS的耐击穿电压只有30V,千兆位的DRAM耐压仅为10-20V。在电子产品的生产、运输、储存等过程中产生的静电压远远大于上述阈值,造成微电子器件击穿或软击穿,使之失效或严重影响产品的可靠性。据报道:因静电问题造成损失,美国100亿美元/年,英国20亿英磅,日本45%微电子子器件损坏,中国10亿人民币/年。
为更好的解决电子工业的静电防护问题,必须普及静电防护的基本知识。;一、静电基本概念
二、电子工业中的静电问题
三、静电防护原理
四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求
五、EPA防静电系统的检验
六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试
;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;一、静电基本概念;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;二、电子工业中的静电问题;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;三、静电防护原理;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;四、防静电工作区(EPA)的构成和技术要求;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;五、EPA防静电系统的检验;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;六、静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试;谢谢大家!
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