入口有限制的硅微通道沸腾换热特性.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：073213 入口有限制的硅微通道沸腾换热特性 王国栋，郑平 (上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) 摘要：本文在8根水力直径均为186¨m的硅微平行通道的入口端加工了限制装置，抑制了通道间的 相互作用，得到了稳定的气液两相流动。并借助于可视化技术，揭示了通道内部不同区段典型的流型 特点。分析了经过通道的压降和局部换热系数的变化规律，并用K锄dlikar经验关系式和试验结果进行 了比较。 关键词：硅微通道，沸腾，入口限制 1．引言 微制造技术和先进观测技术的同步发展，使得对沸腾换热特性的认识得以向微小尺 度领域迸一步的拓展。许多学者对微通道里的沸腾换热现象进行了研究。Brutin等【1】 研究了微通道内部两相流动的不稳定性，用热流量和质量流率两个参数界定了稳定流动 and 和不稳定流动的范围。Wu 首次发现了两种不稳定的流动：液相俩相交替流动和液相俩相／气相交替流动。HetSroni 等【3】在三角形截面的微通道内部发现爆炸沸腾(eXplosiveboiling)现象，并伴有周期性 and Qu 由上游可压缩性导致的剧烈压降振荡(severepressuredmp 有消除通道间的相互作用。本文在微通道的入口处加工了限制装置，有效地抑制了上游 可压缩性和通道间的相互作用，得到了稳定的两相流动，并研究了经过硅通道的两相流 动压降和局部换热系数的变化规律。 2．实验系统和方法 2．1实验系统 实验系统如图1所示。压力罐中的去离子水在高压氮气的推动下，经过球阀进入除 气装置，除去溶解在水中的氮气。并前后经过恒温水浴、过滤器、精密调节阀、压力传 感器进入试验段。水经过试验段后流入置于天平上的收集器。 试验段(图2)核心件为刻有8根平行梯形截面微通道的硅片，通道的横截面上底 宽427 mm，相邻 通道的间距281 pm：在每根梯形截面通道的入口处刻有等腰三角形截面的通道(见图 2b)。该通道的截面的底宽162 nHn。入口三角形通道截面面 pm，高114“m，通道长3 积约为梯形截面面积的20％，可以有效的抑制通道间的相互作用，使通道内部流动变得 稳定。硅片上侧面用阳极扩散焊工艺与硼硅酸玻璃键合在一起，从而保证微通道良好的 密封性和可视化要求。 1635 图1实验系统图 (a)带有入口限制装置的平行微通道 (b)入口限制装置示意图 图2硅微通道示意图 硅片下侧面布置有五个均匀分布的T型热电偶(图3)，用以测量硅片壁面温度。 入口过冷水和出口蒸汽的温度、压力分别由热电偶和压力传感器测量：水的流量由高精 度电子天平获得。所有的温度、压力和流量信号经过数据采集系统输入电脑。为观察硅 片微通道内的两相流型，。在硅片上方还布置有显微放大镜头和高速摄像机。由高速摄像 机记录的图形输入电脑后和数据采集结果一起分析。 waterln物：：!竺竺≤婴塑穿 polyimide 图3试验段 2．2数据处理 实验中热流密度q由下式计算： q=西VI／A。 (1) 式中，西为水吸收的热量和总加热量的比值；V为加热膜的输入电压(v)；l为经过加热 膜的电流(∞：A。为微通道受热面面积(m2)。 出口截面含气率)(e由下式