声子群速度对硅纳米线热导率的影响.pdfVIP

一Il喇工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编弓：073380 声子群速度对硅纳米线热导率的影响木 冯勃李志信 张兴 (清华大学航天航空学院，热科学与动力工程教育部重点实验窒，北京10008哇) Tel：010 摘要：考虑空间尺度对声子群速度的影响，采用Callway热导率模型计‘算了单晶硅纳米线的晶格热 响。，结果表明，纳米线的热导率比体材料小-个数量级，与不考虑受限声：f群速度的结果相比，和实 验符合得更好。另外，边界散射使得高温区的热导率体现出1：j温度几乎无关的特性。 关键词：纳米线热导率色散关系边界散射 1引言 近些年来，随着纳米材料制备和加工方法的发展，获得单晶和各种异质结构的纳米 线已成为现实1。在硅纳米线中，晶格振动是热量输运的主要方式，研究受限空间内声予 的运动是微纳米尺度传热学研究的一个基本问题。在应用方面，随着集成电路以及其它 半导体系统集成度的不断提高，热耗散问题成为制约半导体技术发展的主要因素，研究 低维材料的热量输运特性对于提高系统的性能和可靠性具有重要的意义2。另外，发展高 性能的热电材料也要求深入了解纳米材料的热特性”。 Li等1报道了直径从22nm到115nm的单根悬浮硅纳米线的实验结果，发现其热导率 Carlo方。法模拟了单晶硅纳米线的热导率，认为热导率的减小丰要是¨1于声了色散关系 的改变和纳米线表面对声予散射而引起的。有关受限声了群速度对纳米线热导率影响的 砰论研究还较少。“。本文采用Callaway模型，着重考虑声予空间受限以及三声予、缺陷÷ 电了、边界散射、修正的Debye温度等影响凶素，分析受限声予群速度和边界散射如何 影响单晶硅纳米线的热导率。 2热导率的理论模型 采用弛豫时间近似的Call删ay热导率模型可以表示为： 一=轰(剁r爵 c¨ 温度-L是总弛豫时问，圪是声子群速度。 。国家自然科学基金资助项目(No．5067b()，16) 98 列‘于体硅材料，其声学声予频率州’近似认为与波矢呈线性关系； 叭对于准一维的硅 纳米线，其色散关系可以通过求解弹性方程7以及相应的边界条件： 睾《V2u+(乒知(V．u) (2) ％=％=0 (3) 其中u为偏移矢量，盯为应力张量(r和z分别表示纳米线的轴向和径向，本文研究有自 由表面的纳米线)，s为声速，由材料的Lame系数和密度确定。由于径向声子波矢的量予 化，纳米线声子谱将会出现多个声学支。在计算声子平均群速度时，采用声子数加权平 则有较大贡献。另外，D曲ye温度也根据群速度进行修正”。 声子在热量输运过程中受到边界、自由电子、杂质、缺陷以及其它声子等因素的影 r。～=rf，-。+rM叫0r肭一。叫+r占_‘ (4) 予～缺陷散射率、声予一电子散射率以及声子一边界散射率，其具体表达式以及参数的 选取可参照文献[7]。 ，在直径为。的纳米线中_彦子与边界的散射率采用近似表达式％～=吾(篙】 其中p为表面反射系数。当p=0时，对应于完全非弹性边界散射；当p=l时，对应于 为完全弹性边界散射。考虑到纳米线表面形貌沿轴向的变化以及氧化层的影响，计算中 方的取值介于0与1之间。 3结果与讨论 ， 、 ， 图1中实线为一根硅纳米线的声予谱，体硅的色散关系如图中虚线所示。与体材料 不同的是，对于同一波矢